【課題】鋳込み成形したセラミックス成形体の乾燥時にクラックが発生することを防止して、中空状のセラミックス製品を安定して製造可能な方法を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも底部１１ａが吸水性材料からなる主型１１と、少なくとも表面層１２ａがショア硬度Ａ(ＪＩＳ)２０〜６０°の柔軟材料からなり、表面粗さＲａが４．０μｍ以下である中子１２とを備える鋳型１０に、セラミックス粉末を分散させたスラリー２１を注入する工程と、スラリー２１の水分を吸水性材料に吸水させると共に、セラミックス粉末を鋳型１０に着肉させ、セラミックス成形体２２を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】溶解材料の含浸時に十分に炭化ホウ素とケイ素との反応を抑制し、クラックの発生を防止できる。
【解決手段】本発明の複合材料の製造方法は、炭化ホウ素の強化材と金属ケイ素のマトリックスとからなる複合材料の製造方法であって、金属ケイ素に対して１０重量％以上の炭化ホウ素が含有されるように、炭化ホウ素含有材料を溶融金属ケイ素に混合し事前溶解させ、１４２０℃以上１５００℃以下で事前溶解材料を、炭化ホウ素のプリフォームに含浸させる。このように、金属ケイ素に対して１０重量％以上の炭化ホウ素が含有されるように事前溶解材料を生成し、低温の１４２０℃以上１５００℃以下でプリフォームへの含浸させるため含浸時に炭化ホウ素と金属ケイ素との反応が生じにくい。その結果、反応生成物によるクラックを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】鋳込み成形したセラミックス成形体が密度が均一でクラックも発生せずに、セラミックス製品を安定して製造可能な方法を提供する。
【解決手段】厚さが０．１ｍｍ〜１０．０ｍｍ、通気度が０．１ｃｍ^３／ｃｍ^２・秒〜５０ｃｍ^３／ｃｍ^２・秒の合成樹脂製フィルター１１と、フィルター１１を支持し、通水性を有する支持型１２とを備える鋳型１０に、セラミックス粉末を分散させたスラリー２１を注入する工程と、スラリー２１の水分をフィルター１１及び支持型１２を介して排水させると共に、セラミックス粉末を鋳型１０に着肉させ、セラミックス成形体を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】酸化チタンの添加や石膏型の使用に起因する色むらのない快削性セラミックスを提供する。
【解決手段】酸化アルミニウム焼結体で構成される快削性セラミックスにおいて、酸化チタンを０．１〜０．４質量％含み、酸化カルシウムを０．０５〜２．０質量％含むようにする。酸化アルミニウム焼結体は、酸化アルミニウム、酸化チタン、及び酸化カルシウムの粉末を混合した混合物のスラリーを用い、所定の吸水性材料で構成された底部１１と、非吸水性材料で構成された側壁部１２とを備える成形型１０を用いた鋳込み成形により該粉末の混合物を成形し、そして、成形された該混合物を焼成することにより形成される。 （もっと読む）

【課題】表面温度の熱均一性の低下を低減できるシャフトを提供する。
【解決手段】シャフト１００は、ヒータープレートと接合する面において、導体を挿通するための複数の第１貫通孔１１０と、ヒータープレートとシャフト１００とを機械的に固定する固定部材を挿通するための複数の第２貫通孔１２０とを有する。第１貫通孔１１０は、ヒータープレートと接合する面の中央を中心とする第１円環上に間隔を存して配置され、第２貫通孔１２０は、第１円環と同心の第２円環上に間隔を存して配置される。第１貫通孔１１０のそれぞれと、第２貫通孔１２０のそれぞれとは、第１円環及び第２円環の中心から前記シャフトの外側を臨んだ場合に、第１貫通孔１１０の中心と第２貫通孔１２０の中心とが直線上に並ばないように配置される。 （もっと読む）

【課題】熱サイクル下においてもウエハ設置面の形状が変化することがないセラミックス部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス部材１０は、セラミックス焼結体からなる基体１１と、基体１１の内部に埋設され、タングステン、モリブデン又はこれらを主成分とする合金からなる電極１２と、電極１２と電気的に接続され、基体１１の内部に埋設され、タングステン、モリブデン又はこれらを主成分とする合金からなる金属塊１３と、金属塊１３とビーム溶接によって接合され、ニッケル、チタン、銅又はこれらを主成分とする合金からなる給電端子１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 耐水性や耐紫外光などの特性を向上させることができ、かつ、コーティングによる特性劣化を抑制することができる蛍光体材料および発光装置を提供する。
【解決手段】 蛍光体粒子１１と、この蛍光体粒子１１の表面を被覆する被覆層１２とを有し、被覆層１２は、平均粒子径が１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下の微粒子１２Ａが積層された構造を有している。微粒子の最大粒子径は５０ｎｍ以下であることが好ましく、微粒子１２Ａは厚み方向に３粒子層以上積層されていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも腐食性ガスの侵入を抑制することのでき、かつ基材中の成分の表層への浸入を防止できる部材を用いたガス処理装置およびメカニカルポンプを提供する。
【解決手段】 本発明の処理装置は、内部をガスが通過または滞留する処理装置であり、ガスと接する部分は、鉄とクロム（Ｃｒ）を含有する基材と、基材表面に設けられ、少なくともイットリア（Ｙ_２Ｏ_３）を主成分とする表面保護膜とを有する。 （もっと読む）

【課題】安定したスパッタ運転を可能にし、優れた光学特性を有するＳｉＯ_２膜を製膜可能にするスパッタリングターゲット、その製造方法、ターゲット材原料を提供する。
【解決手段】加速粒子の衝突により金属成分を放出するスパッタリングターゲットであって、金属の基材と、前記基材の表面に、原子番号が１１以下の金属が混合された金属シリコンで溶射により膜状に形成されたターゲット材とを備える。このように、原子番号が１１以下の金属が混合された金属シリコンでターゲット材が形成されているため、抵抗率を低下させることができる。その結果、安定したスパッタ運転を可能にすることができる。そして、シリコンの純度を高めたターゲット材を用いてスパッタリングで作製したＳｉＯ_２膜について、原子番号が１１以下の金属の含有は光学特性を低下させない。その結果、優れた光学特性を有するＳｉＯ_２膜が得られる。 （もっと読む）

【課題】作製が容易であり、周波数２５〜５０ＭＨｚ程度の超音波を精度よく検出できる高周波振動圧電素子、超音波センサおよび高周波振動圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】超音波の発振および観察対象からの反響波の検出を可能にするアレイ型の高周波振動圧電素子１０５であって、連子窓状に一体形成されたプレート状の圧電体構造により振動子アレイが形成されている。このように高周波振動圧電素子１０５は、振動子アレイが連子窓状に一体形成されているため、振動子アレイの平行度を保ち、平面度を高くし、かつ圧電体１０７を薄くすることが可能になる。その結果、周波数２５〜５０ＭＨｚ程度の超音波を精度よく検出できる。また、振動子１１０を並べる手間が省け、圧電素子１０５を工程上、容易に作製することができる。 （もっと読む）