【課題】有底の凹部の状態を非破壊で検査し、製造コストを低減させる。
【解決手段】本発明のウエハ５０のビア孔５１の検査方法は、有底のビア孔５１が表面に形成されたウエハ５０に被転写材料を塗布し、この被転写材料をビア孔５１内に充填させ、被転写材料を硬化させた後、ウエハ５０から離型させることでビア孔５１がビア像７１として転写されてなる被転写体７０を形成する転写工程と、ビア像７１の表面を観察することでその表面形状の画像データを作成する表面観察工程と、ビア像７１の画像データに基づいてビア像７１の形状を評価し、ビア孔５１内の状態を検査する検査工程とを備えたところに特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】トリアリールアミンなどのアリールアミン類を経済的に得ること。
【解決手段】下記一般式（１）または（２）


（式中、Ar、Ar¹及びAr²は同一または異なって、置換または無置換のアリール基を表す。また、Ar¹及びAr²は縮環しても良い。）
で表されるアリールカーバメート化合物を加熱し脱炭酸反応を行い、トリアリールアミンなどのアリールアミン類を得る。 （もっと読む）

【課題】有底の凹部の底部までレジスト液を塗布する。
【解決手段】本発明は、有底のビアホール５１が表面に形成されたウエハ５０に向けてレジスト液を噴射してレジスト膜６０を成膜するスプレーノズル１４であって、レジスト液を供給するレジスト液供給路２３Ａが軸心に沿って貫通して設けられた主軸２３と、この主軸２３を回転自在に支持する軸受け２５と、主軸２３の先端に取り付けられ、回転することでレジスト液を霧化させるエアカップ１９とを備え、主軸２３と軸受け２５は、非金属製とされている構成としたところに特徴を有する。このような構成によると、回転霧化式のスプレーノズル１４によってレジスト液をウエハ５０に向けて噴射しているため、ビアホール５１の底部までレジスト液を塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】物体とそのモデルについての超短パルスの反射波信号をそれぞれ用いて物体表面での反射波成分を除去し、マスキングされていた物体内の検出対象物からの反射波成分を確実に取得して、検出対象物の状況を適切に画像化して評価可能とする、マイクロ波イメージングシステムを提供する。
【解決手段】物体５０にこの物体表面形状を模したカバー８０を被せた状態で取得した主反射波信号と、物体に近い誘電率の材料を用いて製作された物体モデルにカバーを被せた状態で取得した副反射波信号とを信号解析手段１３で比較し、主反射波信号における表面部からの反射波成分を、副反射波信号における表面部からの反射波成分で打消すことで、主反射波信号での検出対象物からの反射波成分を相対的に強調でき、検出対象物の画像化を精度よく実行でき、画像再構成で得られた画像から検出対象物を適切に検出できる。 （もっと読む）

【課題】安価で容易に合成することができる材料を用いて、発光効率が高い有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】下記の一般式で表される銅錯体を発光層に用いた有機エレクトロルミネッセンス素子。
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【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー（１０）の自由端に形成された第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と、第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と、第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と梁（１８）を介して結合された接触部（１９）と、接触部（１９）の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部（２０）と、を有し、接触部（１９）と電極部（２０）との間に静電引力を発生させて、接触部（１９）を変位させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】高いパワーファクターを実現することが可能な熱電変換素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】その表面にＦＤＴＳ被膜６が形成されたガラス基板２の上層に、真空蒸着法によって膜厚が６ｎｍのペンタセン薄膜３を成膜し、ペンタセン薄膜３の更に上層に真空蒸着法によって膜厚が２ｎｍのＦ_４−ＴＣＮＱ薄膜４を成膜する。更に、Ｆ_４−ＴＣＮＱ薄膜４の上層には取り出し電極として膜厚が５０ｎｍのＡｕ電極５を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー（１０）の自由端に形成された櫛歯電極を有する第１の櫛歯部（１３ａ，１３ｂ）と、第１の櫛歯部（１３ａ，１３ｂ）と対向し互いの櫛歯が噛み合うように配置された櫛歯電極を有する第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）と、反射ミラー（１０）および第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）の一方の面に対向するようにスペースを開けて配置された透光性基板（２２）と、透光性基板（２２）を固定端として第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）の一部であって第２のトーションバー（１６）の軸から外れた位置を押圧する押圧部材（２３）と、具備する構成とする。 （もっと読む）