【課題】支持基板に対してプローブを位置合せする。
【解決手段】平坦面と縁部とを形成し第１の結晶面をさらに形成する支持基板を配設するステップと、縁部の表面に第１の露出領域を形成する第１のマスクを支持基板の表面に配設するステップと、特定の腐食剤と、第１の露出領域をエッチングするこの腐食剤により形成される陥凹において第１の側壁と反対側の第２の側壁と縁部から遠隔した端部壁と底壁とを形成する陥凹とを配設するステップとを含む。この方法は、平坦面と、第１の結晶面と同一の第２の結晶面とを形成するプローブ基板を配設することと、特定の腐食剤を使用してプローブ基板からプローブを形成する際に、第１および第２の結晶面が全く同じに配置され、プローブが第１の側壁及び第２の側壁と一致する表面を形成するようにプローブ基板を配置することとをさらに含む。 （もっと読む）

特に自動操作に適した多点プローブを開示する。また、多点プローブとプローブマニピュレータヘッドとを装備した自動多点測定システムも開示している。加えて、プローブホルダとプローブマニピュレータヘッドとを装備した自動多点プローブ把持システムを示す。さらに、多点プローブを操作するためのプローブローダとプローブカセットとを備えるローディング済みのプローブローダも示しており、これにおいて、プローブカセットは、多点プローブを固定するためのプローブホルダを設けている。
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本発明は、テストサンプルの複数の特定位置において電気特性をテストするための多点プローブに関する。多点プローブは、支持本体部と、複数の導電性プローブアームとを備える。各導電性プローブアームは、その近位端で支持本体部に接続され、各導電性プローブアームが個別に柔軟に動くように、支持本体部から自由に延びる遠位端を有する。導電性プローブアームは、導電性プローブアームを支持ウエハ本体部に面するように支持ウエハ本体部の上に形成するステップと、支持本体部から自由に延びる導電性プローブを形成するために、支持本体部を構成する支持ウエハ本体部の一部を除去するステップと、を有する多点プローブ製造方法を用いて作製される。各導電性プローブアームの最大厚みに対する最大幅の比は、０．５〜２．０の範囲であり、垂直二等分線に対してずれた位置に配置された特定接触エリアポイントを形成する遠位先端部を有する。
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多点プローブ(multi-point)を用いて多重測定を行うことによって、非導電性エリアと、導電性または半導電性のテストエリアとを備えたテストサンプルの電気的特性を取得する方法。該方法は、テストエリアを垂直に通過する磁力線を有する磁界を供給するステップと、プローブをテストエリアの第１位置に運んで、プローブの導電チップをテストエリアと接触させるステップと、非導電性エリアとテストエリアの間にある境界に対する各チップの位置を決定するステップと、チップ間の距離を決定するステップと、チップの間に位置決めされ、テストサンプルでの電圧を決定するために用いられる電流ソースとなる１つのチップを選択するステップと、第１の測定を行うステップと、プローブを移動させるステップと、第２の測定を行うステップと、第１の測定および第２の測定に基づいて、テストエリアの電気的特性を計算するステップとを含む。
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本発明は、テストサンプルの表面のあるエリアの電気的特性を決定するためのプローブに関するもので、プローブは、テストサンプルに対して所定の向きになるようにしている。プローブは、第１表面を規定する支持本体を備えてもよい。複数のカンチレバーアーム（１２）が、第１表面と同一平面の関係で支持本体から延びてもよい。複数のカンチレバーアーム（１２）は、互いにほぼ平行に延びてもよく、各カンチレバーアーム（１２）は、テストサンプルの表面に対して所定の向きのプローブ運動によって、テストサンプルの該エリアと接触するための導電性チップを含んでもよい。プローブは、運動を行う際、複数のカンチレバーアーム（１２）の何れか１つがテストサンプルの表面と接触する前に、テストサンプルの表面と接触するように配置された、支持本体から延びる接触検出器（１４）をさらに備えてもよい。
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半導体の表面（５２０）中の、浅い注入のシート抵抗およびリーク電流密度を正確に決定するための方法は、少なくとも１つのセットが１００μｍより小さい平均間隔を有する複数の電極間隔セットを用いて、半導体の表面（５２０）上で、１００μＡより小さい誘導電流を用いて１またはそれ以上の４点抵抗測定を行う。シート抵抗および注入リークは、所定の誤差内で、測定データを理論的なデータに一致させて決定される。
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本発明は、試験試料（５０８）の電気的性質を試験するプローブ（５０２）に関する。プローブは、近位端と反対の遠位端を画成するプローブアーム（５０６）を有する本体（５０４）を備え、プローブアームは、プローブアームの近位端において本体から延在し、更に、第１軸心が、近位端と遠位端によって画定される。その上、プローブアームは、第１軸心に沿った、第１軸心に垂直な第２軸心に沿った、更に、第１軸心と第２軸心によって画定される平面に直角な第３軸心に沿ったプローブアームの柔軟な運動を許容する幾何学的構造を画成する。
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４点探針は、本体と、１つの探針をそれぞれ含む４つの探針アームとを有し、これらの探針アームは本体から平行に延在する。４点探針は、電気信号を送信及び受信するための試験装置と、これらの探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含む。本方法は、探針アームを試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、第１及び第２の探針アームを備える第１の組と、第３及び第４の探針アームを備える第２の組を選択するステップと、試験装置から、第１の組の第１の探針アームを介して第１の組の第２の探針アームに、試験サンプル中を伝搬する第１の電流を印加するステップと、第２の組の第３の探針アーム間の第１の誘起された電圧を検出するステップと、第１の電圧と第１の電流との比である第１の４点抵抗Ｒ_{ｆｉｒｓｔ}を計算するステップとを含む。
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支持基板に対してプローブを位置合せする方法は、平坦面と縁部とを形成し第１の結晶面をさらに形成する支持基板を配設するステップと、縁部の表面に第１の露出領域を形成する第１のマスクを支持基板の表面に配設するステップと、特定の腐食剤と、第１の露出領域をエッチングするこの腐食剤により形成される陥凹において第１の側壁と反対側の第２の側壁と縁部から遠隔した端部壁と底壁とを形成する陥凹とを配設するステップとを含む。この方法は、平坦面と、第１の結晶面と同一の第２の結晶面とを形成するプローブ基板を配設することと、特定の腐食剤を使用してプローブ基板からプローブを形成する際に、第１および第２の結晶面が全く同じに配置され、プローブが第１の側壁及び第２の側壁と一致する表面を形成するようにプローブ基板を配置することとをさらに含む。
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