株式会社CICSにより出願された特許
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リチウムターゲット自動再生装置及びリチウムターゲット自動再生方法
【課題】リチウムターゲットのリチウムの膜厚の測定機能を備えると共に、蒸着源をリチウムターゲットに移動させて消耗されたリチウムターゲットの再生を自動で行うことができるリチウムターゲット自動再生装置及びリチウムターゲット自動再生方法を得る。
【解決手段】リチウムターゲットのリチウムを自動で再生することができるリチウムターゲット自動再生装置106であって、リチウムターゲット自動再生装置106は、リチウムターゲットにリチウムを蒸着させるリチウム蒸着ユニット1を備え、リチウム蒸着ユニット1は、リチウムターゲット側に移動してリチウムターゲットにリチウムを蒸着させることが可能である。
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