ガタン インコーポレイテッドにより出願された特許

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イオンビーム試料準備熱管理装置の実施形態及びその実施形態を使用する方法が開示される。この装置は、イオンを試料に向け得る、真空チャンバ内のイオンビーム放射手段と、試料に向けられたイオンの部分を遮蔽するシールドと、シールドを所定位置に再配置可能且つ着脱可能に保持するシールド保持手段を有するシールド保持ステージとを備える。シールド及びシールド保持ステージの両方にある相補的な基準特徴により、試料の処理及び再処理のために、装置内で試料を正確且つ再現可能に位置決めすることができる。ヒートシンク手段が、イオンビームでの試料準備中の試料から離れて熱を伝導させるように構成される。イオンビーム放射手段は、少なくとも2つの強度でイオンビーム強度を変調し得る。シールド保持ステージは静止してもよく、又は回転してもよい。 (もっと読む)


イオンビーム試料準備装置の実施形態及び実施形態を使用する方法が開示される。この装置は、イオンを試料に向けることができる真空チャンバ内のイオンビーム放射手段と、試料に向けられたイオンの部分を遮断するシールドと、シールドを所定位置に且つ再配置可能且つ着脱可能に維持するシールド保持手段を有するシールド保持ステージと、を備える。シールド及びシールド保持ステージの両方での相補的な基準特徴により、試料の処理及び再処理を行う装置で試料を正確且つ再現可能に位置決めすることができる。保持ステージリフト手段により、試料のイオンビームミリングが行われる主真空チャンバから分離された装填チャンバを作成することができる。ヒートシンク手段が、イオンビームで試料準備を受けている試料から離れるように熱を伝導するように構成される。 (もっと読む)


イオンビーム試料準備装置の実施形態及びその実施形態を使用する方法が開示される。この装置は、イオンを試料に向け得る、真空チャンバ内のイオンビーム放射手段と、試料に向けられたイオンの部分を遮蔽するシールドと、シールドを所定位置に再配置可能且つ着脱可能に保持するシールド保持手段を有するシールド保持ステージとを備える。シールドは基準特徴を有し、基準特徴は、シールドがシールド保持ステージに保持される場合、シールド保持ステージの相補的な基準特徴に当接する。シールドは、イオンビームを用いて試料を処理するために、試料をシールドに耐久的に接着できるようにする特徴を有する。シールド及びシールド保持ステージの両方にある相補的な基準特徴により、試料の処理及び再処理のために、装置内で試料を正確且つ再現可能に位置決めすることができる。 (もっと読む)


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