【課題】工場内におけるプレス機や成型機などの末端の機械動力毎のエア流量を測定するにあたって、流量計を設置済配管に後付けで容易に取付けられるようにする。
【解決手段】計測を行うべき管路を分断し、分断箇所にユニット化した流量計測ユニット１を嵌め込むようにする。そして、その流量計測ユニット１を、分断した管路を置換え、流量計３を備える第１の配管２と、流量計３の前後をバイパスするように第１の配管２から分岐して並設される第２の配管５と、エアの経路を切換えるバルブ６１，６２；７とを備えて構成し、第１の配管２の一部分にフレキシブルチューブ２９を用いて可撓性を持たせる。したがって、フレキシブルチューブ２９の前記可撓性を利用して、容易に嵌め込むことができる。また、計測が不要な場合や、流量計３の目詰まり等に対するメンテナンスの場合は、第２の配管５を使用して通常通りのエアの供給（操業）を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 製品出荷後に複数種類の実使用ガスと複数の流量レンジに対応したマスフローコントローラに仕様変更を可能とすること。
【解決手段】 質量流量制御装置の初期状態において、校正ガスを用いて流量設定信号に対する実流量を計測した校正ガス特性データを求め、この校正ガス特性データを制御手段に記憶し、一方、複数種類の実ガス毎に流量設定信号に対する実流量を計測した実ガス特性データを求め、この実ガス特性データを記憶媒体に保存し、その後、前記質量流量制御装置を稼働する前に、実使用ガスの実ガス特性データを前記記憶媒体からコンピュータを介して読み出し、また、前記制御手段に記憶した校正ガス特性データを読み出し、前記実ガス特性データを元に前記校正ガス特性データを制御流量補正データに変換し、制御流量補正データを制御手段に書き込み、この制御流量補正データを基に実ガス流量を補正する流量制御補正方法である。 （もっと読む）

【課題】溶剤供給システムにおける、溶剤供給の精度を改善する。
【解決手段】本発明の溶剤供給システム（１）は、溶剤を計量するようになっている、ピストン（４）を設けた計量装置（２）と、計量装置のピストン移動を溶剤圧力に従って制御するようになっている制御ユニットとを有する。溶剤圧力の変動は、供給流路（１）又はその一部の内部に含まれる溶剤体積の対応の変動を発生させ、また、制御ユニットは、ピストン（４）の対応の補正移動により、溶剤体積の変動を補償するようになっている。 （もっと読む）