【課題】高精度で３次元接触子モデルを生成可能な表面性状測定装置、その接触子モデル生成方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】表面性状測定装置は、被測定物に先端が接触可能な接触子２４と、接触子２４を互いにＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿って移動させる制御部４１とを備える。制御部４１は、接触子２４を被測定物の表面に倣うように駆動すると共に接触子２４の先端位置を疑似測定点Ｐｉとして取得する。制御部４１は、基準ワーク４を接触子２４で倣い測定して３次元接触子モデルＭ２を算出する。制御部４１は、接触子２４を、Ｚ軸を中心として回転駆動する。制御部４１は、回転駆動される接触子２４の複数の回転位置のそれぞれにおいて、接触子２４をＸ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させて基準ワーク４を倣い測定して疑似測定点Ｐｉを取得し、取得された疑似測定点Ｐｉに基づいて３次元接触子モデルＭ２を算出する。 （もっと読む）

【課題】補正パラメータの算出にかかる時間を短縮することができ、測定精度を向上させることができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、測定子２１１Ａを有するプローブ２１と、駆動機構と、補正パラメータ算出装置とを備える。補正パラメータ算出装置は、測定子２１１Ａの回転変位を拘束することなく測定子２１１Ａの並進変位を拘束する拘束手段６と、プローブ２１の移動量が０となる位置を基準位置として設定する基準位置設定部と、拘束手段６にて基準位置に測定子２１１Ａを拘束した状態でプローブ２１を複数の測定点に移動させて各測定点における基準位置からのプローブ２１の移動量、及び駆動機構の移動量を取得する測定点情報取得部とを備え、測定点情報取得部にて取得される情報に基づいて、プローブ２１の座標系を補正するための補正パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】測定条件に応じて測定機の共振特性が変化する場合であっても適切に測定誤差を低減させることができる測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、三次元測定機本体２と、ホストコンピュータ３とを備える。ホストコンピュータ３は、測定値にデジタルフィルタを適用して三次元測定機本体２の共振特性に基づく測定誤差の影響を低減するフィルタ装置４を備える。フィルタ装置４は、三次元測定機本体２の共振特性を変化させるパラメータを取得するパラメータ取得部４１と、パラメータ取得部４１にて取得されるパラメータに基づいて、三次元測定機本体２の共振特性の変化に追従するデジタルフィルタを設計するフィルタ設計部４２と、フィルタ設計部４２にて設計されたデジタルフィルタを測定値に適用するフィルタ処理部４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転テーブル上の被測定物のＶ溝形状の特性値を正確かつ確実に測定する。
【解決手段】測定子方向一定制御工程と、回転テーブル半径一定倣い制御工程と、２面接触倣い制御工程とを組み合わせ、被測定物のＶ溝を構成する２面に、常に倣いプローブ２２の測定子２４を接触させるＶ溝回転テーブル倣い制御工程を行い、プローブ２２の倣い進行方向を、プローブ２２の測定子２４の中心位置の軌跡から求めて、倣い制御処理を行う。 （もっと読む）

【課題】媒体の厚みを高精度で測定することを目的とする。
【解決手段】媒体厚み測定装置１０であって、基準ローラ１００と、媒体の厚みと前記基準ローラの誤差要因による厚み測定誤差とを合わせた第１の測定値を取得する第１の測定部と２００Ａ、前記第１の測定部と予め定められた位相差θ分ずれた位置に配置され、前記第１の測定部が測定した位相における前記基準ローラの誤差要因による厚み測定誤差を第２の測定値として取得する第２の測定部２００Ｂと、前記第２の測定部による第２の測定値を前記位相差分ずらすとともに、前記第１の測定部による第１の測定値との差分を求めて、前記媒体の厚さを取得する媒体厚さ取得部３５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】側面形状測定において形状測定プローブの先端の移動量をレーザ光と４分割フォトダイオードを用いて高精度に測定する。
【解決手段】Ｚ軸に沿って移動可能な形状測定プローブと、該形状測定プローブ内に一点で支持され先端がＸＹ方向の力により傾斜可能でかつレーザ光を反射するミラーを有するスタイラスがあり、反射するレーザ光を４分割フォトダイオードに集光して得られる電気信号出力から該スタイラスの傾斜を検知して該スタイラス先端のＸＹ方向移動量を得る３次元形状測定方法において、実測定に先んじて該電気信号出力から得られるＸＹ方向移動量（ＴＸｍ，ＴＹｍ）の生データと真のＸＹ方向移動量（ＴＸ、ＴＹ）の関係を求める参照テーブル測定工程によって参照テーブルを作成し該参照テーブルを用いて実測定した生データから補正した真のデータを得る。 （もっと読む）

【課題】 複数軸をもつ機械の軸間角度補正が高精度に且つ容易に行える方法の提供。
【解決手段】 機械16のテーブル12に置かれた一の基準球36上の指定移動軸方向位置での測定軸方向形状情報をテーブル12の直線移動により同一基準球36上の複数の異なる指定移動軸方向位置について取得する基準球測定工程(S10)と、該形状情報に基づき該基準球36の測定軸方向形状のピーク点での該センサー14よりの測定軸方向位置情報を各指定移動軸方向位置について求めるピーク検出工程(S12)と、該各ピーク点の位置情報に基づきテーブル12の実際の移動方向を表わす実直線情報を求める誤差情報取得工程(S14)と、該実直線情報に基づき補正用情報を求める補正用情報取得工程(S16)と、該補正用情報に基づき該センサー14よりの測定軸方向位置情報を補正する補正工程(S20)と、を備えたことを特徴とする軸間角度補正方法。 （もっと読む）

測定器具は、プローブ（１１、１２）と表面（６１）の間の相対的移動を行うことによってワーク（６０）の表面（６１）の表面プロファイルまたは形態を測定し、それによってプローブは表面形態の変化に追従し、それによって変位する。表面に追従するときのプローブの変位手段は、干渉計ゲージ（３５）であってもよい変位プロバイダによって得られる。表面（６１）上で単一の測定経路に沿って測定を行う代わりに、それぞれの測定が対応する測定データセットを得るように測定経路の部分（６１ｄおよび６１ｅまたは６１ｇおよび６１ｈ）上で行われ、これらの測定データセットは基準データセットに独立して位置決めまたは位置合わせされる。基準データセットは、測定経路（６１）の別の部分（６１ｃ）上、構成部品の別の表面（６２ａおよび６２ｂ）の上の別の測定経路（６１ｆ）上、または構成部品が配置される表面の上の別の測定経路上で行われる測定によって得ることができる。位置合わせした測定データセットはその後互いに合わせられて、表面のプロファイルを形成する。
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【課題】 １）高精度な形状測定機で容易に、トレーサブルな値付け測定をすることができ、２）歯車歯面形状測定機の検査・校正を短時間で容易に、正確に、かつトレーサブルに行うことができ、３）歯車歯面の精度規格とも整合して検査・校正結果を得ることができる、歯車歯面形状測定機の検査・校正アーティファクトを提供する。
【解決手段】 検査・校正アーティファクト１０は、略円筒形状あるいは略円錐体形状の本体部１４と、本体部１４の両端から本体部１４と同軸に延在する軸１２と、本体部１４の外周面１４ｘに９０°又は１２０°ごとに、あるいはそれより既知のある微小角度ずらした位置に形成され、径方向外側に突出する４つ又は３つの測定対象となる歯１６ａ〜１６ｄとを備える。 （もっと読む）