【課題】プローブ軸及びプローブ枠の精密加工に要する加工コストを軽減することができること、微小な測定力を精密に調整しつつ、高精度の測定を実現することのできる、接触式形状測定器用プローブヘッドを提供すること。
【解決手段】測定用触針３が取り付けられるプローブ軸１と、このプローブ軸１を進退自在に支持するプローブ枠２とを備えた接触式形状測定器用プローブヘッドにおいて、プローブ枠２には、プローブ軸１をプローブ枠２との間で隙間を設けて支持する支持用空気静圧パッド４ａ、４ｂと、支持用空気静圧パッド４ａ、４ｂ以外にプローブ枠２に設けられ、空気の粘性抵抗により発生する圧力差を利用して、プローブ軸１に測定力を発生させる測定力発生用空気静圧パッド５ａ、５ｂとが設けられている。 （もっと読む）

【課題】高精度測定を実現できる接触式測定機を提供すること。
【解決手段】ベース４に立設された支柱５に沿って昇降するスライダ６と、モータ７３の回転によってスライダ６を昇降させる駆動手段７と、スライダ６に接触検知手段８を介して設けられた測定子９と、測定子９の変位を検出する変位検出手段１０とを備えた接触式測定機において、変位検出手段１０は、測定子９に設けられたスケール１０１と、ベース４に設けられた検出器１０２と、この検出器１０２の信号を増幅するＬＨＳ用アンプ１０３とを含んで構成され、モータ７３およびＬＨＳ用アンプ１０３は、スケール１０１および検出器１０２から隔離された熱源隔離ケース１５１に収納されている。 （もっと読む）