【課題】製造工程の遅延や製造コストの増大を抑制しつつ、高精度な位置検出を実現可能な位置検出センサを提供すること。
【解決手段】工作機械に装備された主軸に装着されるホルダと、上記ホルダの先端から突出して延びるアンテナと、上記アンテナが他の物体と接触したことを検出する接触検出手段と、を備えている。そして、上記アンテナは、当該アンテナの先端側が予め設定された変位許容量だけ変位可能なよう上記ホルダに装着されていると共に、上記他の物体との接触により外部から所定の力がかかったときに曲折するよう弾性を有する線状部材にて形成されている。 （もっと読む）

【課題】 スタイラスの軸方向に対して有害な曲げ振動の発生を防止することで、微細な表面形状の測定を可能にするタッチセンサを提供する。
【解決手段】 スタイラス１は、その軸方向に略対称の構造である。スタイラス１とスタイラスホルダ５とを連結する支持部材６〜９のスタイラス側の支持部１０〜１３は、スタイラスの重心３に対してスタイラスの軸方向に対称となる複数個所で、更に、その各個所においてスタイラスの軸４に対称な複数個所である。スタイラスの軸方向同一個所における各組の支持部材の重心が略前記軸上にある。加振手段３１および検出手段３２の少なくとも一方は、重心３から等距離となる少なくともスタイラス上の２個所に橋渡しされるように設けられている。 （もっと読む）