【課題】コリメータレンズ１５の焦点距離との関係で、光源１１が点光源と見なせない場合でも、軸外光束を考慮して大きな光学部品を用いることなく、平行光の光束径を小さくして、干渉計２を小型化する。
【解決手段】干渉計２は、光源１１と、コリメータレンズ１５と、干渉部１３とを備えている。コリメータレンズ１５は、光源１１の光出射面１１ａの１点から出射される光束を平行光に変換する。干渉部１３は、コリメータレンズ１５を介して入射する光を、ＢＳ１６の分離合成面で２光束に分離し、各光束を移動鏡１７および固定鏡１８で反射させた後、上記分離合成面で合成して干渉させる。光源１１の光出射面１１ａには、半球レンズ１４が密着して配置されている。 （もっと読む）

【課題】試料表面の変位量が大きくても、フェーズラッピングの問題が生ずることなく、試料の微細な表面形状を高分解能で測定できる形状測定装置を実現する。
【解決手段】白色光源から出射した照明光は、入射光をシャーリングする第１の光路と入射光に対して可変光路長ないし可変位相量を導入してフリンジスキャンを行う第２の光路とを有する干渉光学系及び対物レンズを経て試料に入射する。試料上には、シャーリングされた参照ビームにより形成される第１の照明領域とフリンジスキャンされた測定ビームにより形成される第２の照明領域が形成される。第１及び第２の照明領域から出射した反射光は、対物レンズ及び干渉光学系を介して２次元撮像装置に入射し、２つの照明領域の画像が合成された干渉画像が形成される。フリンジスキャンにより、２つの画像を構成する反射光間に白色干渉が発生し、干渉信号を検出することで、試料の形状又は孔の深さが測定される。 （もっと読む）

【課題】１つの縦モードおよび２つの縦モードが混在している状態で半導体レーザーからレーザー光が出射されているか否かを容易に検知することが可能な検知システムを得る。
【解決手段】検知システムは、固定鏡１５、移動鏡１６、半導体レーザー２２から出射されたレーザー光を分割し固定鏡１５および移動鏡１６の各々に反射したレーザー光を合成する光束分岐手段１４、光束分岐手段１４によって合成されたレーザー光を受光する受光手段２５、および制御部２６を備える。制御部２６は、検知システムが上記の検知を行なう際には、固定鏡１５に反射されるレーザー光と移動鏡１６に反射されるレーザー光との光路差が変化するように、移動鏡１６を移動させる。上記の検知は、受光手段２５により受光されるレーザー光の干渉信号がレーザー光のコントラストが変化することによって不連続になったか否かに基づいて行なわれる。 （もっと読む）

【課題】 少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。
【解決手段】 光源Ａからの光を固定鏡２と一対の回転鏡３ａ、３ｂとに二分割し、これら固定鏡２並びに回転鏡３ａ、３ｂから戻った光を再び合成して干渉光を得る二光束干渉計であって、上下方向に沿って延設され、その上下に前記一対の回転鏡３ａ、３ｂを互いに平行な姿勢で保持する回転アーム４と、回転アーム４を回動可能に保持する支持軸５と、回転アーム４の下端部で支持軸５を支点として回転アーム４を反復揺動させる駆動源７と、回転鏡３ａ、３ｂからの光を反射して回転鏡３ａ、３ｂに戻す固定反射鏡９とからなり、回転アーム４の回動を停止して回転アーム４が自重により静止した位置で、二分割された固定鏡側の光と回転鏡側の光の光路差が０のセンターバースト位置となるように、上下の回転鏡３ａ、３ｂの位置が予め調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】被検体の表面から反射光が得られないような場合であっても、被検体の表面性状を確実に測定でき、歩留まり及び製造効率の向上を図ることができる表面性状評価方法を提供する。
【解決手段】ウエハＷをセットしていない状態において、第１参照平面５６で反射された第１参照光と、ウエハＷをセットした状態において、ウエハＷを透過して後に第１参照平面５６で反射された被検光と、に基づいてウエハＷの表面性状を評価することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳを用いた小型、安価な構成で、ＢＳで発生するゴースト光の影響を抑えながら、干渉強度の高い良好な干渉光を得る。
【解決手段】干渉計では、レーザ光源から出射されたレーザ光を平板型のＢＳで２光束に分離し、それぞれを別々の反射光学素子で反射させた後、ＢＳに再度入射させて干渉させる。干渉光は、ＢＳからレーザ光源とは異なる方向に出射され、光検出器にて検出される。ＢＳは、平板状の基板と、上記基板の表面に形成される反射透過膜と、上記基板の裏面に形成される反射防止膜とを有している。上記基板の反射透過膜が形成された面でのレーザ光の反射率および透過率をそれぞれＲｂおよびＴｂとし、上記基板の反射防止膜が形成された面でのレーザ光の反射率をＲａとすると、以下の条件式（１）および（２）を満足する。すなわち、（１）１．５＜Ｒｂ／Ｔｂ＜２０、（２）Ｒａ＜０．０３である。 （もっと読む）

【課題】ゼーマンレーザ等を使った２周波干渉計における，被測定物体の速度制限をなくすことを目的とする．
【解決手段】僅かな周波数差を持った互いに直交する２つの直線偏光の光f1とf2の両方を信号光，および，参照光として使う．ドップラーシフトを受けた信号光f1’とf2’に対して，信号光の２つの偏光成分f1 と f2 を分離・合成し，f1とf2’が混ざったビーム，及び，f1’とf2が混ざったビームを作る．これにより，２つのビートシグナル|f1-f2’|及び，|f1’-f2|を得る．これにより，f1-f2’及び，f1’-f2の符号（正負）に関わらず，被測定物のあらゆる速度Vについて，|f1-f2’|と|f1’-f2|の少なくとも１つから計算することが可能となる． （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳ１３を用いたときの２光束の光路差の補償を、光学部品の部品点数を増大させることなく行って、小型で組み立てが容易な構成を実現する。光学面の枚数を少なくして、ＢＳ１３に対する入射光の強度が微弱な場合でも、干渉光を確実に得る。
【解決手段】干渉計２では、透明基板１３ａの片面が反射透過面である平板型のＢＳ１３で入射光を２光束に分離し、２光束を固定鏡１５および移動鏡１４でそれぞれ反射させた後、ＢＳ１３で合成して干渉させる。固定鏡１５および移動鏡１４のどちらか一方は、裏面反射鏡で構成されている。この裏面反射鏡は、ＢＳ１３の反射透過面で反射された一方の光束と上記反射透過面を透過した他方の光束とで、ＢＳ１３で分離されてから合成されるまでに透明基板１３ａを通過する回数が異なることによって生ずる上記両光束の光路差を補償する平板１５ｂの裏面に反射膜１５ａを一体的に形成して構成されている。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳを用いたときの２光束の光路差の補償を、光学部品の部品点数を増大させることなく行って、小型で組み立てが容易な構成を実現する。ＢＳへの入射光が軸外光線を有する場合の干渉性能の大幅な低下を回避して、干渉性能を補償する。
【解決手段】移動鏡１４は、静止状態において、移動鏡１４で反射された光束と固定鏡で反射された光束との光路差がゼロとなる第１の位置Ｐに対して、平板型のＢＳの反射透過面で分離される２光束のうち、移動鏡１４または固定鏡を介して再度反射透過面に入射するまでにＢＳの透明基板を透過する側の光束の光路長が、他方の光束の光路長よりも相対的に長くなる第２の位置Ｑ_０にある。移動鏡１４の駆動機構は、第２の位置Ｑ_０に対してＢＳ側とその反対側とで移動量が対称となるように移動鏡１４を移動させることによって、第１の位置Ｐに対してＢＳ側とその反対側とで移動鏡１４の移動量を非対称にさせる。 （もっと読む）

【課題】小型の構成でありながら、移動鏡１５を構成する反射膜１５ａの大きな移動量および並進性を確保しつつ、反射膜１５ａの面精度を向上させて反射光の波面の乱れを抑制する。
【解決手段】駆動機構１８の板ばね部３１・３２は、互いに対向して配置されている。支持体３３・３４は、板ばね部３１・３２の間で互いに離間して配置され、それぞれが板ばね部３１・３２と連結されている。駆動部３５は、板ばね部３１・３２の対向方向に、支持体３４に対して支持体３３を平行移動させる。支持体３４の移動方向において、支持体３３・３４の厚さは、板ばね部３１・３２よりも厚く、支持体３３における移動方向に垂直な一端面に、反射膜１５ａが形成されている。支持体３３は、反射膜１５ａが露出するように板ばね部３１・３２と連結されている。 （もっと読む）

【課題】測定物の厚さや温度測定を、非接触により高精度で行うこと。
【解決手段】干渉測定装置は、スーパーコンティニューム光を放射する光源１０と、ＳＣ光を測定光と参照光とに分割する光ファイバカプラ１１と、ミラー１２と、ミラー１２の位置を調整する位置調整装置１３と、測定光と参照光との干渉強度の波長スペクトルを測定する受光装置１４と、干渉強度のスペクトルを空間座標に逆フーリエ変換して、干渉強度の空間分布を求め、その空間分布から測定物の厚さや温度を測定する干渉波形解析装置１５と、によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】ステップ走査干渉計を、最適に機能させる方法を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態では、ステップ走査赤外線（IR）分光干渉計における路長差（遅延）は、ステップ変更に続く第1の期間について交流サーボ機構（サーボ）制御下で、および、第1の期間に続く第2の期間について直流サーボ制御下で維持される。データは、直流サーボ制御期間中および/または直流サーボ制御期間後に取得される。データ取得前に交流サーボ制御を停止することで、ディザー周波数ノイズを制限することができる。さもないと、ディザー周波数ノイズは、高速時間分解分光法（TSR）などの高速時間スケール用途で特に、対象となる信号に影響を与える可能性がある。鏡位置制御回路は、鏡位置ステップ、および、交流から直流への鏡サーボ制御の切り換えを制御する。 （もっと読む）

【課題】光の干渉を利用した干渉測定装置において、測定精度を向上させること。
【解決手段】干渉測定装置は、スーパーコンティニューム光（ＳＣ光）を放射する光源１０と、ＳＣ光を測定光と参照光とに分割する光ファイバカプラ１１と、分散補償素子１２と、分散補償素子１２を移動させる駆動装置１３と、測定光と参照光との干渉波形を測定する受光手段１４と、によって構成されている。測定対象である測定物１５は、厚さ８００μｍのＳｉ基板である。分散補償素子１２は、厚さ７８０μｍのＳｉ基板である。つまり、分散補償素子１２は、測定物１５と同一の材料であり、測定物１５よりも２０μｍ薄い。測定物１５裏面と分散補償素子１２裏面での反射による干渉は、波長分散がほぼ打ち消されるためピーク幅が狭く、ピーク位置の測定精度が向上する。その結果、温度等の測定精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】
高精度に干渉計測装置固有の誤差を計測することができる干渉計測装置を提供する。
【解決手段】
被検査レンズの波面を計測する干渉計測装置において、前記集光レンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置された前記凹球面ミラーを、光軸に関して０°回転した位置で前記被検査レンズの第１の波面を計測し、前記集光レンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置された前記凹球面ミラーを、前記光軸に関して１８０°回転した位置で前記被検査レンズの第２の波面を計測し、前記集光レンズの焦点位置からデフォーカスさせた位置に配置された反射基板により前記被検査レンズの第３の波面を計測し、前記入射光学系、前記干渉計測装置のシステムエラーを検出するように制御する制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
被検光学系の波面を高精度に計測することができる干渉計測装置を提供する。
【解決手段】
被検光学系の波面を計測する干渉計測装置において、前記被検光学系の焦点位置に曲率中心が一致するように配置された前記第１の凹球面ミラーを、光軸に関して０°及び１８０°回転した位置で前記被検光学系の第１の波面および第２の波面を計測し、前記被検光学系の焦点位置に配置された第１の反射基板により前記被検光学系の第３の波面を計測し、前記第３の波面の計測値に対して、前記第１の反射基板の複素屈折率から算出される位相変化誤差の補正を行い、前記第１の凹球面ミラーの固有の誤差を補正する制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定値の信頼性に関する新たな情報を提供できるようにする。
【解決手段】カーブフィッティング法において理論干渉波形毎に得られる各フィッティングレベルと、各フィッティングレベルにそれぞれ対応する各理論干渉波形の膜厚との相関を示す相関図３６を作成して表示するとともに、膜厚むらによって変化する相関図３６の波形の谷部のピーク値について、しきい値Ｌ１，Ｌ２を設定し、谷部のピーク値が、しきい値Ｌ１，Ｌ２で規定される警報範囲に入ったときには、安定に測定が行われていないとして警報を出力するようにしている。 （もっと読む）

本発明は流体２の流れ特性を決定するための装置１に関する。装置は、距離及び速度決定ユニット３までの流体の要素の距離を決定し、自己混合干渉信号に基づいて、同時に要素の速度を決定するための距離及び速度決定ユニット３を有する。装置１は、決定された距離及び速度の少なくとも１つに基づいて流体２の流れ特性を決定するための流れ決定ユニット４を有する。これは、流体２が光学的に厚い場合であっても、流れ特性を決定可能にする。
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【課題】 薄膜構造の特性評価を含む、偏光解析、反射光測定および散乱光測定のための干渉計法を提供する。
【解決手段】検出器上で参照光と干渉するように、或る範囲の角度にわたってテスト物体から出射するテスト光を結像することであって、テスト光および参照光は共通の光源から生成される。それぞれの角度毎に、テスト光がテスト物体から出射する角度に依存する速度で、テスト光および参照光の干渉する部分の間にいて、光源から検出器までの光路長差を同時に変更すること、および、それぞれの角度毎に光路長差を変更しながら、テスト光と参照光との間の干渉に基づいて、テスト物体の光学特性の角度依存性を特定することからなる方法。 （もっと読む）

【課題】物体の角度を測定する際の基準位置を容易に設定する。
【解決手段】十字線が示されるレチクル２６を保持し、ドーナツ型のスケール円板２５が上面の端部に固定されている回転筒２４が、レンズ２３の光軸Ａ回りに回転可能となるようにケース２１の内部に設置されている。基準ピン２９は、回転筒２４の基準穴２４Ａに適合し、回転筒２４を基準位置に設定したときに、基準穴２４Ａに挿入することが可能である。エンコーダセンサヘッド２７は、スケール円板２５の回転量および回転角を検出し、カウンタ表示部３４は、検出された回転量および回転方向に基づいて、表示値がリセットされたときのスケール円板２５の回転方向の位置を基準にして、スケール円板２５の回転角を表示する。本発明は、例えば、顕微鏡用のデジタルプロトラクタに適用できる。 （もっと読む）

【課題】短時間で簡単かつ高精度に被検レンズの透過波面を測定することが可能な測定装置、それに使用されるアライメントシステム、アライメントシステムの制御方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】干渉計２０を有して被検レンズ１０の透過波面を測定する測定装置１に使用され、被検レンズ１０の集光点ＣＰと反射型球面原器２７の球心Ｏとを位置合わせするアライメントシステム４０は、被検レンズ１０を載置するステージ２５を移動する移動部５０とコンピュータ６０を有し、設定された移動方向と移動量に基づいて移動部５０を制御する移動制御モジュール７０と、方向判断モジュール６４が、実際には、明暗領域１６の中心１７が検出領域２９ａの中心２９ｂから離れる方向に移動していると判断した場合に、設定した移動方向を反対方向に再設定し、再設定された移動方向にステージ２５が移動するように移動部５０を制御する移動制御モジュール７０を有する。 （もっと読む）