本発明は測定対象を光学的に検査する光学的プローブ（１）に関する。このプローブは、固定プローブ部材と、該固定プローブ部材に機械的及び光学的に結合された、回転軸（３）を中心として回転可能なプローブ部材（５）とを有しており、回転可能プローブ部材（５）は測定光線を出力させる少なくとも２つの光出力側（１０ａ；１０ｂ；１０ｃ）を有しており、測定光線は互いに異なる焦点距離ｄ（１５）を以て前記光出力側から前記回転軸（３）に対して垂直に出射する。本発明はまた、前記光学的プローブ（１）と接続された干渉計を含んだ、測定対象を干渉法により測定するための装置にも関する。
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閉形式処理をサポートするメリット関数に基づいて、光学撮像システムのローカルデータマップが綴合されて合成グローバルデータマップにされる。ローカルデータマップの重なり領域は、パラメータ表示で与えられる差分マップとして定められる。重なり合うローカルデータマップに対する修正方位のパラメータ表示を対応する差分マップに総括的に整合させることによってローカルデータマップの修正方位が導かれる。
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