Fターム[2F064HH00]の内容
光学的手段による測長計器 (11,246) | 検出部 (1,361)
Fターム[2F064HH00]の下位に属するFターム
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Fターム[2F064HH00]に分類される特許
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ステージの変位を測定するためのポロプリズムを備えたヘテロダイン・レーザ干渉計
【課題】干渉計においてステージの回転による基準ビームと測定ビームのずれを最小限に抑える。
【解決手段】第1の方向(Z)に沿った変位を測定するための干渉計システム100、100A、400は、(1)第1の方向に沿って移動するステージ108に取り付けられた測定ルーフ状光学部品104、404(例えばポロプリズム)と、(2)(a)測定ルーフ状光学部品に対向する第1の面105および(b)該第1の面の反対側の第2の面109を備えた偏光ビームスプリッタ103と、(3)測定ルーフ状光学部品と偏光ビームスプリッタの第1の面との間に配置された第1の波長板106、406と、(4)偏光ビームスプリッタの第1の面とは反対側に配置された方向転換光学部品110とを含む。システムを通る測定光路は、第1の方向および該第1の方向に対して垂直な第2の方向(YまたはX)によって画定される平面内に位置するセグメントのみで構成される。
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