【課題】風や反射光などの外乱の影響による誤検出を低減させ正確な変位量を検出することができる、安価で高精度な変位検出警報システムを提供すること。
【解決手段】再帰反射材を用いた１枚のターゲットに対して、異なる方向から複数の変位検出装置によって撮影することで、昼夜問わず外乱による誤検出を低減させることができる。さらに、変位検出装置で撮影した画像データと過去の計測データと気象データを統合することにより、気温の変化によるターゲットもしくは変位検出装置の変形や、両方の変形、降雨や風による変位の誤検出が発生しやすい場合でも、高確率で正しい判定が可能になる。また、各変位検出装置でデータを分散して保存することにより、変位検出装置が最後の１台になっても、計測を継続することが可能である。 （もっと読む）

【課題】液浸法で露光を行う露光装置の液体に接する部分に異常があるかどうかを効率的に判定する。
【解決手段】露光光ＥＬで投影光学系ＰＬと液体１とを介して基板Ｐを露光する露光方法において、液体１に接する接液部を光学的に観察し、得られる第１画像データを記憶する第１工程と、接液部の液体１との接触後、例えば液浸露光後に接液部を光学的に観察して第２画像データを得る第２工程と、第１画像データと第２画像データとを比較して、その観察対象部の異常の有無を判定する第３工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板に形成された凹部の深さを、加工方法の制約を受けず、かつ、任意の時間に、非破壊、非接触で測定する技術を提供する。
【解決手段】基板９に形成された貫通ビア９Ｈ（凹部）の深度を検査する基板検査装置１００であって、基板９に向けて電磁波パルスを照射する電磁波パルス照射部１３と、電磁波パルスを検出する電磁波パルス検出部１５とを備える。また、基板検査装置１００は、貫通ビア９Ｈが形成されているビア形成領域９２Ｒを透過した電磁波パルスの時間波形と、ビア形成領域９２Ｒとは異なる参照領域を透過した電磁波パルスの時間波形とを比較して、その位相差を取得する位相差取得部２５と、前記位相差に基づいて、前記ビア形成領域に形成された貫通ビアの深度を取得するビア深度取得部２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】精密ソルダレジストレジストレーション検査方法を提供する。
【解決手段】マシンビジョン検査システムを動作させて、蛍光材料内の特徴の位置を再現可能に特定するために、蛍光画像を取得するための蛍光撮像高さを決定する方法が開示される。蛍光材料外に露出した露出ワークピース部分の高さが特定される（例えば、高さセンサまたはオートフォーカス動作を使用して）。特定された高さは再現可能である。露出部分は、蛍光材料および／または蛍光材料内に配置された特徴に対して特徴的な高さを有する。蛍光材料内部であり得る蛍光撮像高さが、特定された露出部分の高さに相対して決定される。蛍光撮像高さは、結果として生成される蛍光画像において蛍光材料内に配置された所望の特徴の検出を向上させるように決定される。様々なワークピースに対して、この方法は、従来既知の方法よりも確実に、適宜合焦された蛍光画像の自動取得を提供する。 （もっと読む）

【課題】
ヘッド先端部に接触センサを搭載し欠陥との接触によりこれを検出する方法によっては、欠陥検出時に欠陥を引きずりウエハ表面に傷をつける可能性がある。
【解決手段】
試料の表面に照明光を照射するプリスキャン照射工程と、散乱光を検出するプリスキャン検出工程と、該散乱光に基づき該試料の表面に存在する所定の欠陥の情報を得るプリスキャン欠陥情報収集工程と、を備えるプリスキャン欠陥検査工程と、該試料の表面と近接場ヘッドとの距離を調整して該試料の表面を照射する近接場照射工程と、近接場光応答を検出する近接場検出工程と、該近接場光に基づき所定の欠陥の情報を得る近接場欠陥情報収集工程と、を備える近接場欠陥検査工程と、該所定の欠陥の情報をマージして該試料の表面に存在する欠陥を検査するマージ工程と、を有する試料の表面の欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】 光源からの光を測定対象や光検出器の受光面へ位置合わせを行う際に、位置合わせを容易に、かつ確実に行うことが可能な光学式変位検出機構のスポット光の位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の利得で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光検出器１６で検出される検出感度を利得（増幅率）調整器を用いて実際に測定対象を測定する時よりも小さい値に設定して、光検出器１６の所定の位置に光検出器用位置決め機構１８により光のスポット２０の位置決めを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】撮像素子を用いなくても、検出空間全体にわたって対象物体の位置を正確に検出
することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた位置検出
機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、ピーク波長が８４０ｎｍから１０００ｎｍの帯
域の赤外光からなる検出光Ｌ２を検出空間１０Ｒに向かって出射する位置検出用光源装置
１１を設け、対象物体により反射した検出光Ｌ３を光検出器３０によって検出する。位置
検出用光源装置１１では、位置検出用光源１２から出射された検出光Ｌ２の光強度分布を
、光強度分布変換用液晶パネル１６０を備えた光強度分布変換用液晶装置１６によって変
換し、出射する。 （もっと読む）

【課題】本発明の主な目的は、生産コストを低下させることができるセンサーシステ提供することにある。
【解決手段】上記課題を解決するために本発明では、操作物の存在を判断する一方、操作物の位置を検出する場所に適用するセンサーシステムを提供する。前記センサーシステムは、パネルと、反射素子と、画像検出装置（image sensor）と、プロセッサーと、第一導光棒（light guide rod）と、第二導光棒と、光源モジュール（light source module）と、を含む。前記パネルは、第一表面と、その第一表面に位置する第一区域と、その第一表面に位置する第三区域と、を具備する。前記第三区域は、前記第一区域の内に位置する。前記第一区域は、順に接続される第一辺と、第二辺と、第三辺と、第四辺と、を具備する四辺形区域である。前記第三区域の面積（square measure）は、前記第一区域の面積より小さい。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面に発生したプローブの二次像とプローブの先端部との位置関係から、プローブの先端部とワーク表面との距離を測定する距離測定装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤランプ７からプローブ６に光を照射することによりワーク９の表面に現れる二次像とプローブ６とを撮像した画像において、プローブ６のエッジを特定するエッジ特定部１０１と、二次像の外縁に沿った直線を画像上に挿入する直線挿入部１０２と、上記エッジと上記直線との重なりを判定する重なり判定部１０３と、を備え、１以上のＬＥＤランプ７、撮像装置、及びプローブ６が、ワーク９の表面に対して一体に移動可能に保持されている。それゆえ、距離測定装置１００は、ワーク９の表面に発生したプローブ６の二次像とプローブ６のエッジとの位置関係から、プローブ６のエッジとワーク９の表面との距離を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物の大きさの指標となる目盛をリアルタイムに撮像画像に重ねて表示することができる安価で簡潔な構成の撮像装置、画像表示方法、及び画像表示のためのプログラムを記録した記録媒体を提供すること。
【解決手段】対象物を撮像し、その撮像画像を表示する撮像装置であって、撮像画像中の対象物の大きさの指標となる目盛を生成する目盛生成部と、目盛に歪曲収差による歪みと同等の歪みを与える形状補正を行うために使用する補正用データを記憶しているデータ記憶部と、補正用データに基づいて目盛に形状補正を行った歪曲目盛を生成する目盛形状補正部と、歪曲目盛を撮像画像に合成する画像合成部を有し、リアルタイムで撮像画像を歪曲目盛と合成して表示する。 （もっと読む）

【課題】
レール近傍にあって頭面がレールに比べて比較的幅のある平面形状の物体をレールと誤検出することを防止することができるレール変位量測定装置におけるレール検出方法を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、測定三角形が形成されたときのこの測定三角形において測定されるレールの位置とこの測定三角形において第１の距離検出器あるいは第２の距離検出器のいずれかにより測定されるレールの位置との位置誤差を算出して、この位置誤差が所定値の範囲にあるときに測定対象をレールとして検出する。 （もっと読む）

【課題】対象物についての形状データの配置合わせの可否を判定する手法を改善する。
【解決手段】対象物上で互いに重なる部分を有する第１領域と第２領域のそれぞれの三次元形状を表現した第１形状データと第２形状データとを取得し、第２形状データに基づいて、互いに異なる複数の幾何学的状態を表現した複数の第３形状データを生成して、生成された第３形状データのそれぞれを第１形状データへ配置合わせすることにより複数の第４形状データを生成する。そして、第１領域と第２領域とを包含する範囲について所定の許容範囲内の精度で対象物の三次元形状を再現できるか否かを、複数の第４形状データについての形状配置の相互関係に基づいて判定する。 （もっと読む）

【課題】微小穴の内径等の微細形状の測定に際して、測定の非接触化による高精度化を図ると共に、光量変化の検出という単純な検出原理によるシステムの簡素化、低価格化を図る。
【解決手段】側面がセンシング面１２Ｂであるコア１２のみで構成され、該コア１２の端面１２Ａ、または、前記センシング面１２Ｂとコア端面１２Ａとの間の該コア１２内、もしくは該コア端面１２Ａの外側の少なくともいずれか一つに反射面を有する光ファイバ１０を備え、前記センシング面１２Ｂへの誘電体ワーク１６の近接により生じる、前記光ファイバ１０に入射され、前記反射面で反射されて戻ってきた光の減衰を検出する。 （もっと読む）

【課題】鋼管の横断面内の複数箇所における外径や肉厚を簡易にかつ十分な測定精度で自動測定を行う。
【解決手段】外径、肉厚測定用の第１の外側、内側レーザ距離計１，１Ａを第１の直線１３上に、位置合わせ用の第２の外側レーザ距離計２を第１の直線１３と直交する第２の直線１４上に、かつこれらを同心円上に、配置して、枠体３で支持し、枠体３を枠体回転手段、枠体移動手段、および、前後進手段で、全てのレーザ距離計の同心回転、第２の直線１４の方向、および、同心円の直交方向の移動を可能とした。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定対象が広範囲である場合における測定の所要時間を短縮できるとともに、製造コストを低減することを可能とする三次元形状測定システムを提供する。
【解決手段】パルス光を生成するパルス光源３６と、生成されたパルス光を分配する光分配器６４と、分配された各パルス光に基づいて、色が規則的に経時変化するチャープ光パルスを生成する複数のチャープ導入装置８４と、生成された各チャープ光パルスをワーク３２の各照射領域９４に照射し、ワーク３２で反射された各チャープ光パルスの各反射光像を取得する複数の反射光像取得部１１４と、取得された前記各反射光像の二次元情報及び色情報を用いて、ワーク３２の三次元情報を取得するカラー二次元検出器１０６とを有する。 （もっと読む）

【課題】光弾性計測法を用いて、例えば、チェーンのリンクプレートなどのような組立体の構成部品の歪み、形状、内部応力及び外観などを精度良く検査することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】透明又は半透明な被検知体Ｍと被検知体Ｍに対して検査光を照射する光源と検査光の進行方向上であって光源と被検知体Ｍとの間に配置された第１偏光手段１１０と被検知体Ｍに対して第１偏光手段１１０と反対方向の検査光の進行方向上に配置された第２偏光手段１２０とを有し、検査光が第１偏光手段１１０及び第２偏光手段１２０を通ることによって生じる干渉模様を撮像する撮像手段１４０とを有し、光源が積層式の有機ＥＬ照明板１３０であることによって前記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】車両等の移動体に搭載されたスペクトルセンサによる撮像データ（スペクトルデータ）に生じる移動体の移動に起因するスペクトル波形の変化を軽減して、測定対象のより精度の高い識別を可能にする移動体用スペクトル測定装置を提供する。
【解決手段】スペクトルセンサ１４にて検出される観測光のスペクトル波形に基づいて車両１０周辺の測定対象を識別する移動体用スペクトル測定装置は、複数の測定対象のスペクトル波形が辞書データとして格納されている辞書データ記憶部１６と、観測光のスペクトル波形と辞書データ記憶部１６に格納されているスペクトル波形との比較演算に基づいて測定対象を識別する演算装置１７と、当該車両１０の速度を取得する車両状態取得装置１９とを備える。演算装置１７は、当該車両１０の速度に基づき観測光のスペクトル波形を補正して辞書データ記憶部１６に格納されているスペクトル波形との比較演算を行う。 （もっと読む）

【課題】ハイパーレンズを用いてサンプルの光学特性の波長依存性の情報を入射光の波長以下のサイズで得る。
【解決手段】複数の光源波長と各光源波長に合わせて設計・作製したハイパーレンズ１００７をレーザ顕微鏡のレンズホルダ１００１に配置する。被観察物体の色素１００６をサンプルホルダ１００５に並べ、光源部１００３からの入射光１００８を入射し、ハイパーレンズ１００７を通過した光を顕微鏡３０７で受け、ＣＣＤカメラ３０９で観測する。光源波長毎に複数のサンプル像を取得し、複数のサンプル像を位置あわせ・強度合わせして重ね合わせる。 （もっと読む）

【課題】統計的干渉計測法の円滑な実施を可能にする微小変位計測装置を提供する。
【解決手段】分岐したレーザ光を被測定物体１０の２点に照射し、その散乱光より得られるスペックル干渉画像から被測定物体の変位を求める計測装置であり、光線の位相を位相可変手段１７で違えて作成した第１、第２の基準スペックル干渉画像（基準画像）と測定対象のスペックル干渉画像（計測画像）との間の位相差を統計的干渉計測法で求める対基準画像位相差算出部３２と、各計測画像の位相差から計測画像間の変位を表す位相差を求める変位位相差算出部３３と、基準画像を更新する基準画像更新部３４とを有する。基準画像の更新により、統計的干渉計測法を用いて微小変位を計測する際の測定レンジを拡大することができる。 （もっと読む）

【課題】カメラの内部・外部パラメータの計測を容易化する。
【解決手段】シルエット画像作成手段１２は、カメラなどの画像取得手段１１から入力された画像から物体の写っている領域を抽出したシルエット画像を作成する。パラメータ推定手段１４は、予め用意された物体の変化タイプを任意の確率に従って選択し、該選択された変化タイプに応じた状態候補を生成する。この状態候補に基づいて、該状態候補と同じカメラ内部・外部パラメータを有する仮想カメラに投影し、前記シルエット画像をシミュレートしたシミュレーション画像を生成する。この両画像の比較結果と、事前知識に基づく対象自体の確からしさの判定結果とを積演算した評価値を求める。この評価値から状態候補を最終的な変化状態として受け入れるか否かを判断する。受け入れた変化状態からカメラの内部・外部パラメータを推定する。 （もっと読む）