Fターム[2F065QQ31]の内容
光学的手段による測長装置 (194,290) | 信号処理 (28,761) | 画像処理(1次元を含む) (5,599)
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Fターム[2F065QQ31]に分類される特許
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接触部検出装置および接触部検出方法
情報処理装置、情報処理装置の制御方法、およびプログラム
環境認識装置
線状体の直径及びスリットの幅寸法の測定方法
コイルばね計測装置
薄膜形成装置及び薄膜形成方法
情報処理装置、情報処理装置の制御方法、およびプログラム
位置姿勢計測装置、その処理方法及びプログラム
吊荷周辺の物体の高さ情報通知システム
三次元計測方法、三次元計測装置及び三次元計測プログラム
人間位置検出システム及び人間位置検出方法
ゴルフスイングの診断方法
アライメントマーク変形推定方法、基板位置予測方法、アライメントシステムおよびリソグラフィ装置
画像処理装置、画像処理方法
外観検査装置
投影装置、3次元計測装置並びにその制御方法およびプログラム
同期されたユーザインタフェース機能を含むマシンビジョンシステムプログラム編集環境
位置姿勢推定マーク、およびこれを用いた位置姿勢推定装置
傾斜測定装置およびその方法
トレンチ深さ測定装置及びトレンチ深さ測定方法並びに共焦点顕微鏡
【課題】トレンチ幅が照明光の波長と同程度の高アスペクト比のトレンチの深さを測定できるトレンチ深さ測定装置を実現する。
【解決手段】照明光学系は、ライン状の照明ビームを発生する光源装置1〜4及びライン状の照明ビームを前記試料に向けて投射する対物レンズ6を有し、光源装置と対物レンズとの間の瞳位置にトレンチの長手方向と平行なライン状の瞳パターンを形成する。ライン状の瞳パターンは対物レンズを介してトレンチが形成されている試料表面7にトレンチと交差するようにライン状の照明エリアを形成する。また、照明光として直線偏光した照明光を用い、その電界ベクトルの方向は、トレンチの長手方向に対してほぼ平行に設定する。直線偏光した照明光の電界ベクトルの方向をトレンチの長手方向に設定することにより、トレンチにおける光損失が減少し、トレンチの内部に照明光を進入させることでき、高精度な深さ測定が可能になる。
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