【課題】構造が簡単で安価なうえ、応答性がよく、熱影響により検出精度が低下することがない流路閉塞度検査装置を目的とする。
【解決手段】被検査物の連通流路内に吹き込まれたパルスエアが外部開放口Ｈより流出する際の風速に基づいて連通流路の閉塞を検知する孔閉塞検査装置であって、被検査物の外部開放口から噴出されるエアを導入するエア導入孔１１とエアの排出孔１２とを備えた貫通流路１３を形成し、風速により変位する撓み板１４をエアの流れを阻害しない隙間をもたせて前記排出孔１２の出口に配設し、前記撓み板１４の変位に基づいて排出孔１２を通過する風速を検出するもので、応答性が良好なうえ、熱による影響が少なく閉塞度の検出精度の低下を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】電気的なセンサとは異なる構造によってアクチュエータの動作を検出できる動作検出センサを提供する。
【解決手段】変形動作するバルーンアクチュエータ１２に検出用流路２が設けられている。検出用流路２は、動作するバルーンアクチュエータ１２の動作に応じて変形することで、通過させる流体の流路抵抗が変化する。そして、流路抵抗の変化による前記検出用流路２を通る流体の流量の変化を測定手段３が測定する。 （もっと読む）

【課題】内径加工機の前工程において、ワークの未加工を判別し、内径加工機の後工程において、ワークの加工ずみの判別を、省スペース、低価格、高精度に行うことができる内径加工ワーク判別装置を提供。
【解決手段】内径加工機の前と後に、ワーク内８に小径部６を有する未加工測定ピン４を嵌合させ複数個のノズル３がワーク内８に開口する位置まで押し下げて流体の圧力を測定し、測定した流体の圧力が予め定めた第１の圧力を越えたとき、未加工ワークと判別する未加工ワーク判別装置10と、ワーク内28に小径部26を有する加工済み測定ピン24を嵌合させて複数個のノズル23がワーク内28に開口する位置までリング35が上昇させられて流体の圧力を測定し、測定した流体の圧力が予め定めた第２の圧力以下であるとき、加工済みワークと判別する加工済みワーク判別装置20と、を有する。 （もっと読む）