【課題】精密な押圧制御を行うと共に、微少な位置を高精度に検出することができるエアベアリングユニットを提供すること。
【解決手段】ロッド４に対して加圧エアを噴出することにより、シリンダブロック２に非接触状態でロッド４を支える。そして、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に測定用エアを出力すると共に、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に出力される測定用エアの流量を計測することにより、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間の距離を計測する。 （もっと読む）

【課題】マイクロインジェクションシステムで使用するキャピラリの先端内径を精度良く計測すること。
【解決手段】第二の圧力室３にキャピラリ１を接続し、レギュレータユニット１０によって所定の圧力に調整された圧縮空気または圧縮窒素を第一の圧力室７および第二の圧力室３に充填した後に電磁弁５を閉鎖した状態で、差圧センサ４が二つの圧力室の間の差圧を測定し、内径算出装置１２が差圧の変化率からキャピラリ１の先端内径を算出する。 （もっと読む）