【課題】軸を中心として回転対称な非球面部材における非球面の輪郭形状の測定において、軸を挟んだ対称な有効径の範囲全体を対象とすることなく、短い時間で輪郭形状の誤差を高精度に測定可能な面形状測定機、測定方法及び面形状の測定値の解析方法を提供する。
【解決手段】軸Ａを挟んだ非対称な範囲Ｍにおいて、軸Ａの一方の側の所定位置から他方の側の別の所定位置までの非球面の輪郭形状を測定し、範囲Ｍにおける非球面の輪郭形状の測定値を用いて、測定値を得ていない軸Ａを挟んだ他方の側の所定範囲に仮測定値として補完し、次いで、軸Ａを挟んだ非対称な範囲と仮測定値を補完された範囲とを合わせた範囲において、測定値と仮測定値と非球面の輪郭形状の設計値とを用いて、所定の収束条件を満たすまで収束計算を行なうことにより、非球面の輪郭形状の誤差を算出する。 （もっと読む）