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Fターム[2F069FF00]の内容

測定手段を特定しない測長装置 (16,435) | 較正;調整 (143)

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【課題】本発明は、工作機械上の被加工物を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム(12)は、被加工物Wの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブPからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ(24)に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム(20)から引き出される。また、いくつかの方法で前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償する。 (もっと読む)


【課題】周囲の景色によらずカメラの撮像方向を校正することができるカメラ校正装置を提供する。
【解決手段】イメージセンサ140を有するカメラ120と、イメージセンサ140と既知の位置関係にある加速度センサ150と、イメージセンサ140が静止しているときに加速度センサ150によって検知された傾きとイメージセンサ140が移動しているときに加速度センサ150によって検知された傾きとに基づいて、カメラ120の撮像方向を算出するカメラ校正部160とを備える。 (もっと読む)


【課題】角度2点法プローブのゼロ点校正を角度2点法の環境に対するロバスト性を維持しながら、迅速に、精度よく、かつ簡便に実現できる校正装置及び真直形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正対象となる2つの角度センサSS1〜SS2を円板CP1〜CP2に対して相対的に固定し、回転角θ=0度において2つの多面鏡CP1〜CP2の傾斜角を、各角度センサセンサSS1〜SS2を用いて測定して第1の測定値を求め、且つ回転角θ=180度において2つの多面鏡CP1〜CP2の傾斜角を、角度センサセンサSS1〜SS2を用いて測定して第2の測定値を求め、第1の測定値と第2の測定値とに基づいて、前記角度センサのゼロ点誤差を校正できる (もっと読む)


手動で位置付けることが可能な関節アームと、AACMMの第1の端部に装着された測定デバイスと、位置信号を受信するための、および測定デバイスの位置に対応するデータを提供するための電子回路とを含む可搬型の関節アーム座標測定機(AACMM)。AACMMは、環境レコーダをさらに含む。環境レコーダは、パラメータの値を出力するためのセンサと、メモリと、方法を実施するために環境レコーダによって実行可能な論理とを含む。方法は、パラメータの値を監視するステップと、パラメータの値がプログラム可能な閾値の外にあることを判定するステップとを含む。パラメータの値およびタイムスタンプが、パラメータの値がプログラム可能な閾値の外にあると判定されることに応答してメモリに記憶される。メモリの内容が、電子回路に送信される。
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【課題】多チャネルクリアランスセンサシステムの自己校正システムを提供する。
【解決手段】自己校正システム110は、固定物体と回転物体との間の少なくとも1つのクリアランスパラメータ信号を測定する少なくとも1つのセンサを有する。このセンサからの出力は、クリアランスパラメータ信号のオフセット誤差を求めるよう構成されたオフセット補正部137により、クリアランスパラメータとして処理され、このパラメータは、レベルシフタ120において用いられる。このレベルシフタは、クリアランスパラメータ信号と切替可能に結合されている。レベルシフタからの出力は、増幅及びデジタル変換可能であり、信号レベル解析器154により処理されて、チャネル利得信号が求められる。 (もっと読む)


【課題】作業者の熟練度に左右されることなく、プローブの角度を能率的かつ高精度に調整することができるプローブのアライメント調整方法および形状測定機を提供。
【解決手段】軸部の先端に接触部を有するプローブと被測定物とを相対移動させるとともに、その相対移動方向に対して直交しかつ軸部と交差する方向からプローブの移動軌跡画像を撮像する工程ST2と、撮像されたプローブの移動軌跡画像から相対移動方向を示す基準直線L1および軸部の傾きを示すプローブ軸線L2を抽出する工程ST3と、抽出された基準直線L1に対するプローブ軸線L2の傾きを演算して求める工程ST4と、求められたプローブ軸線L2の傾きに基づいてプローブの傾きを調整する工程ST6とを備える。 (もっと読む)


【課題】一度に広範囲の被検査物表面形状を検査できる表面形状検査装置及び表面形状検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物5の表面の凹凸を増幅する凹凸形状増幅部材1と、凹凸形状増幅部材1の下面を被検査物5の表面に沿わせるように当接させる透明板2と、被検査物5の表面の検査対象部分を凹凸形状増幅部材1に対して相対的に移動させる回転機構7と、凹凸形状増幅部材1によって増幅された被検査物5の表面の凹凸を光学的に検出するカメラ3及びコンピュータ4とを有する。 (もっと読む)


【課題】精度良く、シリンダライナとピストンとの間における油膜の膜厚を計測することのできる膜厚計測装置を提供する。
【解決手段】ピストンにおけるピストンリング摺動面とシリンダライナの壁面との間の膜厚については静電容量方式により計測された膜厚データを選択し、ピストンにおけるピストンリング摺動面とシリンダライナの壁面との間以外のピストンの壁面とシリンダライナの壁面との間の膜厚についてはレーザ誘起蛍光法により計測された膜厚データを選択する。そして、選択した膜厚データを記録する。 (もっと読む)


【課題】身体部分上の方位測定ユニットの方位と、関節によって相互接続された連続体を構成する身体部分同士の間の相対比率に関するデータを提供する較正段階が高精度で行われる動作追跡のためのシステムと方法を提供する。
【解決手段】個々の寸法と相互比率を有し、関節により順次相互接続される複数の物体部分で構成される物体の三次元空間内の運動を追跡するシステムが、方位パラメータを有する各物体部分と位置的及び方位的関係に配置され、物体部分の方位に関するデータを測定する方位測定ユニットと、方位測定ユニットから受け取ったデータを使って物体部分の方位及び/又は位置情報を導き出すモジュールと、受け取ったデータ、所定の制約、及び追加入力データに基づいて物体部分の相互比率と方位測定ユニットの方位パラメータを求めるために、受け取ったデータと所定の制約に基づき較正値を計算する較正ユニットとを備えるプロセッサとを備える。 (もっと読む)


本発明は、とりわけ切断機における自在軸受装置(21)の位置調整を行う装置と方法に関する。前記切断機、ポータルロボット等における工具のいわゆるTool Center Point(TCP)と呼ばれる、工具中心点として表されるものに関しての位置調整またはキャリブレーションが、調整装置の単一の可動な測定先端で行われ、この調整装置は工具と直接的に作用結合し、ソフトウェア制御による測定方法によって、工具の最適に調整されるべき開始位置の記録を行い、この開始位置の再現性を保つことを可能とする。TCPの決定はメンテナンスおよび調整作業の後か、または工具および切断機の衝突の後で必要となる可能性がある。本発明は装置技術としては、自在軸受装置(21)の位置調整のための調整装置であり、とりわけ切断機におけるものであり、この調整装置はフレーム(1)から見て3つのリンク部材、第1のリンク部材(3)、第2のリンク部材(4)および第3のリンク部材(5)を連結したものを備え、これらのリンク部材は互いに重なって、直動関節(12、13、14)を介して前記フレーム(1)に、直交座標系の3つの全ての軸において、互いに遊び無しに、軽く(kraftfrei)動くように結合されており、ここでどの軸にも基準位置は存在せず、そして第3のリンク部材(5)は直動関節(14)を介してフレーム(1)に結合し、第2のリンク部材(4)は直動関節(13)を介して第3のリンク部材(5)に結合し、そして第1のリンク部材(3)は直動関節(12)を介して第2のリンク部材(4)に結合し、これらのリンク部材(3、4、5)は一体型で形成されており、それぞれのリンク部材は個々に生成された部品から構成されるのでなく、1個の単一の部品であり、同様にフレームから最も離れた第1のリンク部材(3)には、重力方向に反対に物理力接続(kraftschlussig)によって、その直交する面に形状接続(formschlussig)によって測定アダプタ(16)に接続された装着部(3b)を備え、ここで第1、第2および第3のリンク部材(3、4、5)には回転型の測定センサ(6、7、8)が配置されており、これらはこれらの測定センサは測定ピニオン(9、10、11)および各々のリンク部材(3、4、5)に設けられた測定ラック(3c、4a、5a)を用いて、これらの隣接するリンク部材(4、5)および前記フレーム(1)に対する相対的運動を検出し、これらの測定値は変換装置(2)で処理され、データライン(23)による変換装置(2)とコンピュータ(24)とのオンライン接続を備える。
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【課題】フレーム歪み誤差と並んでプローブ形状誤差をも校正できるステレオビジョンプローブシステムの包括的校正方法を提供する。
【解決手段】ステレオビジョンプローブシステム120は、タッチプローブ140に形成されたマーカパターン150を複数のカメラ130A,130Bで撮影し、三角法演算を行ってタッチプローブ座標位置を測定する。包括的校正システム100において、フレーム歪み校正は、可搬式の校正治具160にタッチプローブ140を設置して三角法演算を行う反復工程を含むが、タッチプローブ140のプローブ形状歪み誤差に影響されない。プローブ形状歪み校正にはフレーム歪み校正の結果が適用される。同一のプローブチップが包括的校正ルーチンの全体を通じて用いられる場合、プローブチップ校正はフレーム歪み校正により用いられる画像セットからの画像を用いる。 (もっと読む)


加工システムにおけるロボットを校正する方法(500)が提供される。方法は、距離センサ(214)をロボットのエンドエフェクタ(102)に脱着自在に結合すること(502)、及び距離センサをしてセンサ(214)から基板支持体(108)までの距離を計測させること(506)を含む。そして、その距離が選択されたしきい値を満たす又はその範囲内であるかどうかを判定する。距離が選択されたしきい値を満たす又はその範囲内であるときのロボットジョイント位置を記録する。
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【課題】
ボビンが迅速かつ正確に検出、即ち把握されるように簡単な方法でボビンの位置の確認を改善する。
【解決手段】
センサ(11〜14,21〜24)が、空間的に互いに分離されるようにセンサグループモジュール(2A,2B)内に配設されていることを特徴とする、ボビンを把持するための要素(3,4,5)を有するグリッパ(1)と、グリッパ(1)に配設された、センサ(11〜14,21〜24)を有するセンサ装置(2)と、センサ装置(2)から信号を受信し、処理する評価及び制御装置(9)と、評価及び制御装置(9)によって制御され、グリッパ(1)を移動させる位置決め装置(10)とを有する、特にタバコ加工産業のボビン操作装置。 (もっと読む)


本システム、方法、製品、ソフトウェア及び装置は知的プローブシステム又はその構成部分である。本発明のある実施形態では、1個又は複数個の可換なプローブ内にICチップを埋め込んであるので、CMM上でのプローブ換装を、何回でも、迅速に、容易に且つ誤りなく行うことができる。
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【課題】リソグラフィ装置の高精度変位測定システムを提供する。
【解決手段】放射ビームBを調節するように構成された照明システムILと、パターニングデバイスMAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第一位置決めデバイスPMに接続されたマスク支持構造体MTとを含む。リソグラフィ装置は、基板Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第二位置決めデバイスPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTも含む。 (もっと読む)


【課題】基板表面の段差が大きいような場合でも面位置の検出精度の低下を防止できるようにした露光処理方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ウエーハの表面上に塗布されたフォトレジストにスキャン露光を行う際に、ウエーハの表面を走査して当該ウエーハ表面の面位置データを取得する(ステップA1)。また、ウエーハ表面の段差部の位置及びその大きさに関する段差情報をCADデータや膜厚設計値等から取得する(ステップA2)。次に、取得した段差情報に基づいて面位置データを補正し(ステップA3)、補正された面位置データに基づいてウエーハ表面の面位置を調整する(ステップA4)。そして、面位置が調整されたウエーハ表面上のフォトレジストに露光処理を行う。 (もっと読む)


本発明は、座標測定機械を操作するための方法及び座標測定機械に関し、この場合、少なくとも1つの電気モータMによって駆動される座標測定機械の座標測定装置、特に測定ヘッドは、少なくとも1つの方向に動くことが可能である。電気モータMの運動、このようにして、座標測定装置の運動を行うために、電気モータMを通して(ラインC11、C21の電流回路を介して)流れる駆動電流が測定される。電気モータMの運動又は座標測定装置5の運動が進行すべき目標速度に基づいて及び/又は目標加速度に基づいて、駆動電流について限界値が検出される(コンピュータPC及び/又はマイクロコントローラMCで)。駆動電流が検出された限界値IΤに達した場合及び/又は駆動電流が検出された限界値IΤを超えた場合、例えば、コンピュータPC又はマイクロコントローラMCが、電流回路に配置されたスイッチSW1、SW2の一方をオフにすることによって、座標測定装置5は所定の状態に設定される。
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本発明は、空間内の対象物の位置を測定かつ/または較正する方法およびそのための装置に関し、そのような実施形態においては、装置は、一端においてフレームに嵌合され、他端においてプラットフォームに嵌合された、少なくとも1つの移動アームを含み、プラットフォームは、測定または較正される対象物に取り付けられることができ、プラットフォームを取り付けられた対象物が動いている間に、少なくとも1つの移動アームの個々の部材、フレームおよびプラットフォームの相対的な位置が読み取られ、測定されたデータは、対象物の位置を決定するために、または対象物を較正するために使用される。測定および/または較正装置のプラットフォームを測定または較正対象物に取り付けると直ちに、これらの接合された部分は、対象物の駆動装置によって起動され、対象物の作動空間の範囲内で任意の動きを行い、その一方で、装置の個々の部材の相対的な位置に対応する量が収集され、空間内の対象物の位置の決定または較正のために使用される。測定または較正対象物を有するプラットフォームが動いている間に測定された量の数は、装置の自由度の数より少なくとも1大きい。
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【課題】 非接触三次元測定装置を用いて製缶構造物の寸法測定を行う方法と装置を提供する。
【解決手段】 寸法測定装置1は、マスト10とターンテーブル30を備え、レーザビームを用いた三次元測定機22はマスト10に昇降自在に取付けられる。ターンテーブル30上にはワーク100が取付けられ、基準点位置に複数のスチールボールB,B・・・が置かれる。三次元測定機22は、複数のスチールボールの位置を測定するとともに、ワークの各部の座標位置の測定データを得る。測定データで作成されたワーク形状をCADデータに重ね合わせて、ベストフィットを得る。ベストフィットに基づいてワークの各部品の寸法を測定する。 (もっと読む)


【課題】 厳格な位置決めを必要とせず、ワークを測定できる三次元ワーク測定方法を提供する
【解決手段】 測定対象であるワーク40を、測定用ロボット20により三次元測定するための三次元ワーク測定方法であって、ワーク40上に設定された基準点のうち一点を位置決めピン12aに位置合わせして、基準点を測定する第1測定工程(ステップS5、S9、S21〜S37)と、ワーク40と同様の基準点が設定された設計値通りの理想ワークを、該基準点のうちの一点を位置決めピン12aに合わせた所定の姿勢で配置したと想定して、該理想ワーク上の基準点とワーク40の基準点の測定結果とを比較する比較工程(ステップS38)と、比較結果に基づいて、ワーク40上の測定点を測定するための前記ロボットの測定位置を補正する補正工程(ステップS6、S10、S41)と、補正した測定位置から、ワーク40上の測定点を測定する第2測定工程(ステップS42〜S48)と、を有する三次元ワーク測定方法。 (もっと読む)


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