【課題】高速、かつ少ない振動およびエラーで部品表面の多数の座標ポイント取得できるようにする。
【解決手段】基準表面に対して可動サポートを位置決めするための１つ以上のアクチュエータとを含む測定システムであって、前記可動サポートが、サポートコネクタと、前記可動サポートと取り外し可能に接続された、前記基準表面に位置決めされたワークピースの表面の走査経路にある複数のポイントを測定するための走査プローブと、前記サポートコネクタと相互作用するように配置された、モジュラ回転取り付け具を前記可動サポートに接続させるための第１のコネクタ９０、およびプローブコネクタと相互作用するように配置された、前記走査プローブを前記モジュラ回転取り付け具に接続させるための第２のコネクタ４０を備えるモジュラ回転取り付け具と、前記第２のコネクタを前記第１のコネクタに対して回転させるためのアクチュエータ５８とを有す。 （もっと読む）

【課題】 原子間力顕微鏡のＡＣモード使用時において、試料の解析精度を向上させることができる原子間力顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 略板形状を成すベース部３４から延設されたカンチレバー３５の先端側に探針３６が形成され、前記ベース部３４は、取付手段３０によって振動体２６が設けられた台座部２８に取り付けられており、前記振動体２６によって前記カンチレバー３５を共振振動させることで、前記探針３６が上下動しながら試料１４を走査し、該探針３６が前記試料１４に接触することで生じる前記カンチレバー３５の上下振動の変化を検出器２１によって検出することで、前記試料１４を解析する原子間力顕微鏡１３において、前記振動体２６の振動によって前記ベース部３４に発生する共振振動を抑制するベース部振動抑制手段を、前記ベース部３４および前記取付手段３０の少なくともいずれかに設ける。 （もっと読む）

本発明によってはセンタリング装置、特に探査測定装置（１）のためのセンタリング装置（１１）が提案されている。このセンタリング装置は装置軸線（７）を規定する装置保持体（３）と、シャフト軸線（４３）を規定する保持シャフト（４１）と、装置保持体をシャフト軸線に対し平行な装置軸線でシャフト軸線に対し半径方向に移動可能ではあるがしかし固定可能に保持シャフトに保持するセンタリング保持装置とを有している。センタリング保持装置（４５）はシャフト軸線（４３）と装置軸線（７）を中心として分配された、前記軸線（７，４３）に沿って延びる１つの平行四辺形リンク領域（５９）又は複数の平行四辺形リンク領域を有する平行四辺形案内装置として構成されている。このような平行四辺形案内装置は保持シャフト（４１）及び／又は装置保持体（３）に一体に統合されて成形されることができる。これは製作費用を低下させる。平行四辺形案内装置の周方向に分配された調節ねじ（６９）はシャフト軸線（４３）を装置軸線（７）に対して調整することを可能にする。
（もっと読む）