【課題】長い距離に亘って移動体の絶対位置を正確に検出可能で低コストの移動体の絶対値型位置検出装置を提供する。
【解決手段】移動体の絶対位置を特定する絶対値特定パターンが記録されている絶対位置特定スケール１０と、スケールの絶対位置を検出する検出手段と、からなる移動体の絶対値型位置検出装置１であって、スケール１０の隣接するスケールは順次その一部が重なるように所定のオーバーラップ量を保持して直列に配置され、検出手段はスケール毎に各々配置されており、オーバーラップ量の絶対位置および各スケールのオーバーラップ内の特定位置を記憶しておく不揮発性記憶部３１と、検出手段によるスケールの絶対位置の検出結果と不揮発性記憶部３１に記憶されている情報から移動体の絶対位置を演算する演算部３０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】低規模で、かつＳＮ比が劣化することのない、物理量を検出する半導体集積回路を提供する。
【解決手段】増幅器６は、第１入力用スイッチトキャパシタ回路２の差動出力端子と接続される第１の差動入力端子と、第２入力用スイッチトキャパシタ回路４の差動出力端子と接続される第２の差動入力端子とを含み、第１の差動入力端子および第２の差動入力端子から入力される二対の差動信号ＶＩＰ，ＶＩＮ、ＶＩＰ２，ＶＩＮ２を加算増幅して出力する。第１の相補積分用キャパシタＣＦ１Ｐ，ＣＦ１Ｎは、第１の入力用スイッチトキャパシタ回路２の差動出力端子と増幅器６の差動出力端子とに接続される。第２の相補積分用キャパシタＣＦ２Ｐ，ＣＦ２Ｎは、第２の入力用スイッチトキャパシタ回路４の差動出力端子と増幅器６の差動出力端子とに接続される。 （もっと読む）

本発明は、非接触で働くセンサ素子（１）と、電子部品（５）および電気／電子接続部を含むハウジング（２）とを備えるセンサに関する。前記センサ素子（１）は、前記ハウジング（２）の一部を呈し、前記ハウジング（２）を測定側（３）に対して閉じて封止するために使用される。 （もっと読む）

【課題】加速度センサなどに用いられる、物理量検出を実施しながら容量センサ素子の異常検知を実現する容量型物理量検出装置を得る。
【解決手段】第一の期間に容量センサ素子１が有する二つの前記固定電極と前記可変電極とで構成される各々の可変容量１１、１２の電荷を放電する初期化手段２、第二の期間に各々の前記可変容量１１、１２に所定の電荷を供給する充電手段３、第三の期間に各々の前記固定電極と前記可変電極との電位差が所定の判定電位差よりも小さい場合に容量センサ素子１に異常があると判定する異常検知手段４、第四の期間に各々の前記固定電極と前記可変電極との電位差から検出信号を出力する差動演算手段５、第四の期間に前記容量センサ素子１と前記差動演算手段５との接続を短絡に切り替える切替手段６を備え、前記第一の期間と前記第二の期間と前記第三の期間と前記第四の期間と、前記第四の期間の前に設けた待機期間とを周期的に有する。 （もっと読む）

【課題】物体の接近などを検出する微小な静電容量のオフセットを除いた変化を、最適な検出レンジに合わせながら高分解能かつ高速に検出する。
【解決手段】支持基板上に配置された複数の検出電極と、複数の検出電極の各々に接続される検出電極が有する静電容量に対応した電圧波形に変換するための抵抗とコンデンサの直列接続で構成されるＣＶ変換手段と、検出電極の各々に入出力ポートが接続される汎用的なマイクロコンピュータを有し、マイクロコンピュータのＣＰＵにより検出電極の各々の静電容量あるいはその変化に対応した値から接近物体の位置を演算する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、センサプローブと測定対象物との間隙を容易かつ正確に調整することができる静電容量センサを提供することにある。
【解決手段】本発明は、静電容量センサと、前記静電容量センサを固定する第１の固定治具と、前記静電容量センサの先端部に位置するセンサプローブと測定対象物との間隙を調整するアクチュエータと、前記アクチュエータと前記静電容量センサとを固定する第２の固定治具と、前記間隙の調整後に前記静電容量センサを固定する第３の固定治具と、前記間隙に生じる静電容量の値を測定する計測器と、を具備し、前記第２の固定治具が、第３の固定治具よりも剛性の低い構成になっていることを特徴とする、静電容量センサ式測定装置を提供する。 （もっと読む）

本発明は、センサ素子及び関連するコンディショニング前置増幅器を備えるトランスデューサの原位置テストのための方法及び装置を提供する。本発明は、トランスデューサ回路のより高い統合性により、完全なトランスデューサの特徴を評価することができる。テストは、追加の配線なしに遠隔の中央ロケーションから実行される一方、トランスデューサは動作環境にある。テストは、テスト信号及びテストシーケンス制御信号をトランスデューサ出力信号のための配線に重畳することで実行され、簡単さを犠牲にせずに柔軟性を提供する。テスト信号方式のテスト信号は、トランスデューサの追加の回路によって、解釈されかつ遠隔テスト発生器からの信号方式のテスト信号に基づいてコンディショニング前置増幅器の入力にルーティングされ、かつテスト信号から発生される信号は、テスト対象であるトランスデューサの完全な資格のために遠隔分析システムから分析される。
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【課題】オフセットをなくし、検出精度を向上させることが可能な容量型検出回路を提供すること。
【解決手段】二つの容量素子Ｃ１０、Ｃ２０と全差動アンプ１３１の二つの入力端子Ｔ１１、Ｔ１２との間の設けられた切替回路１４０と、全差動アンプ１３１の二つの出力端子Ｔ１３、Ｔ１４と容量型検出回路の出力端子Ｔ２０、Ｔ３０との間に設けられた切替回路１５０とによる切替により、全差動アンプ１３１に接続された電荷検出を行う２つの帰還キャパシタＣ３０、Ｃ４０の容量差がある場合のオフセットをなくす。 （もっと読む）

ＭＥＭＳシステムを含む電子システムにおける低周波エラーを除去するためのシステム及び方法を以下に説明する。システムは１つ又は複数のスイッチに結合される第１の回路を備える。１つ又は複数のボンディングワイヤがスイッチ及び第２の回路に結合される。制御信号がスイッチに結合され、該制御信号は、第１の回路の、第２の回路への結合をスイッチを介して制御して、第１の回路の出力における、ボンディングワイヤによって引き起こされる変動オフセットを除去するように構成される。 （もっと読む）

【課題】静電容量型センサが形成された半導体チップとその容量変化を検出する検出回路が形成された半導体チップとからなるハイブリッドＩＣにおいて、両チップ間に必要なボンディングワイヤーの数を減らす。
【解決手段】センサチップ５０の裏面を、それが載置された支持基板の表面の電極に接続し、センサのキャパシタＣmの一方端子Ｎcbを基準電位に設定する。センサチップ５０の表面には他方端子Ｎcdのパッドを形成する。検出回路チップ５２には、Ｃmとの接続端子Ｎdとなるパッドと、Ｎdに接続され、Ｃmを充電するバイアス電圧を出力するバイアス回路５４と、ＮdにキャパシタＣcを介して接続され、Ｃmの端子Ｎcdの電位変化を電気信号として検出する検出回路５６とが形成される。両チップ５０，５２は端子Ｎdのパッドと端子Ｎcdのパッドとの間のボンディングワイヤーで接続される。 （もっと読む）

プロセス変数（ＰＲＯＣ．ＶＡＲ．）を検出する回路（１００）は、第１キャパシタ（１０２）および第２キャパシタ（１０４）を含む分圧器（１０６）を備える。静電容量の少なくとも１つは、プロセス変数により変化する。分圧器の両端（１２８、１３０）は被変調電圧（Ｅ１、Ｅ２）を受け取り、分圧器の中央タップ（１０８）は検出器に接続される。検出器は、搬送波周波数範囲成分を表す検出器の出力（１１８）を有する。制御回路（１２０）は検出器出力の関数として被変調電圧のベースバンドの包絡線を制御する。
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【課題】 角度測定器具を提供する。
【解決手段】 光学的角度測定用の角度測定器具は、少なくとも１つの軸（１、２；１１）を中心に回転可能に支持された望遠鏡本体５を備え、ここで、軸（１、２；１１）は少なくとも２つの軸受箇所６に回転可能に支持されており、また軸受箇所６は軸（１、２；１１）の方向に互いに離間している。
この場合、軸（１、２；１１）の位置を検出するための少なくとも２つのセンサ構成のそれぞれは、軸（１、２；１１）に沿った測定箇所に配置されており、ここで、測定箇所は軸（１、２；１１）の方向に互いに離間している。センサ構成の少なくとも１つは、測定箇所で軸方向に対して垂直な方向への軸（１、２；１１）のずれを検出する一群の容量センサ（７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ）を備える。
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反応性センサは、通常温度変動に非線形応答を呈する。反応性センサの振る舞いに依存する非直線性及び／又は温度を補償し、測定下の物理パラメータの既知サンプルに関連する事後補償出力信号を校正するためのシステム及び方法を開示する。一実施形態は、少なくとも反応性センサの部分、モノリシック集積回路及び基準タイミングを収容するハウジングを含む。集積回路は、センサ励起信号を発生するための波形発生器、励起信号及び測定下の物理パラメータの組合せに対するセンサ応答を検出するための検出器、デジタルでプログラムされた係数の使用によって調整される温度補償ユニット及びＰａｄｅ近似非直線性補償ユニットを含む。係数は、非直線性及び温度感度を補償することに加えて最終出力を校正する。 （もっと読む）

【課題】 方向により感度差が発生しないセンサ回路を提供すること
【解決手段】 比較の基準となる固定容量COを設け、前記固定容量COと物理量に応じて容量が変化する一対の可変容量C1, C2とを比較して、その差を出力するものとしている。 （もっと読む）