【課題】リトグラフィー投影装置の提供。
【解決手段】マスクステージのＸ、ＹおよびＲｘ位置が、マスクステージに装着された各グリッド格子の変位を測定する２つの光学式エンコダー読取りヘッド１０，１１を使用して測定され、グリッド格子１２，１３は、マスクＭＡ自体上のパターンと同一平面となるようにマスクテーブルＭＴの切取り部に設けるのが好ましい。他の自由度におけるテーブル位置の測定は、容量性または光学式高さセンサHSで測定することができる。 （もっと読む）