【課題】測定対象物の変位に対する出力特性の変動を抑えることで、測定対象物の軸心の振れの測定精度を向上させることができる回転振れ測定装置およびスケール部を提供する。
【解決手段】スケール部１１をシャフトＦに取り付け、Ｘ軸ヘッド部２２に対してシャフトＦを回転させると、スケール部１１は、Ｘ軸ヘッド部２２の照射ユニット３０から照射されたレーザー光線Ｌ１を、シャフトＦが一回転する間連続してＸ軸ヘッド部２２のエンコーダ受光ユニット４０に反射する。このように、シャフトＦの軸心Ｔの振れを、スケール部１１の変位によるレーザー光線Ｌ２の強さの変化の回数によって測定しているので、長時間の測定においても、シャフトＦの電気的特性変化に影響されることなくシャフトＦの軸心Ｔの振れを測定することができる。よって、長時間の測定において軸心Ｔの振れの測定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】様々な用途に使用可能な光学式変位センサを提供すること。
【解決手段】光源１４と光検出器１３の少なくとも一方が配置された少なくとも１つのセンサヘッド２と、センサヘッド２を実装する基板１とにより構成される光学式変位センサにおいて、センサヘッド２は複数の電気接続端子５４を有し、基板１は、センサヘッド２を取り付けるための少なくとも１つの段差５１を有し、段差５１の底面にはセンサヘッド２の電気接続端子５４と電気接続する配線パターン３０が形成されており、センサヘッド２の複数の電気接続端子５４は、基板１の配線パターン３０を経由して、外部回路と接続可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 長尺または多数のエンコーダ用スケールを、精度良く、安価に製造する製造方法および製造装置を提供することが課題である。
【解決手段】 円筒形状シリンダ表面に剥離可能に設けたエンコーダ用スケール部材上にエンコーダ用スケールパターンを形成し、前記エンコーダ用スケール部材を、前記形成したエンコーダ用スケールパターン間に切れ込みを入れて前記円筒形状シリンダ表面から剥離し、リボン状のエンコーダ用スケールとした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ディスクマウントを曲折させてキャップ状とすることにより、輪状ディスクの位置を軸受と重合する位置に設けることにより、装置全体を薄型化することを目的とする。
【解決手段】本発明によるエンコーダ装置は、基台(1)に軸受(2)を介して回転自在に設けた中空軸(4)の端部(4a)にキャップ型をなすディスクマウント(5)を儲け、このディスクマウント(5)の外周の鍔部(5a)に輪状ディスク(6)を取付け、この輪状ディスク(6)が軸受(2)に対して径方向に重合し、薄型化されている構成である。 （もっと読む）