ファイバから後方散乱された信号の微分値または変化率が測定される、分散型音響検知（ＤＡＳ）の方法である。信号が測定される２つの時間の差が、信号が測定されている期間よりもはるかに短い場合に、このようにして測定された位相の変化、または微分値は信号自体よりもはるかに小さい振幅を有し、結果的に感度が低下する。周波数偏移は、たとえば異なる周波数偏移によって各アームの信号を変調させるために配置された出力干渉計を採用することによって、変化率を比較するために時間的にずらされた帰還信号に適用されることが可能である。
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【課題】検出ヘッド内部の迷光等の影響を受けず、かつ信頼性を確保して小型化・薄型化を図ること。
【解決手段】光源４とスケール９との間の光路上に配置される第１の光透過部５０と、スケール９と光検出器６との間の光路上に配置される第２の光透過部７０と、第１の光透過部５０と第２の光透過部７０とを繋ぐ接続透過部２００とを有する光透過部材５を備え、第１の光透過部５０の表面と第２の光透過部７０の表面との間に介在し、エンコーダ信号の検出に寄与しない迷光を低減する迷光低減機能要素を備えた。 （もっと読む）

【課題】光源・光検出ユニットの発生光量や光伝送系の光コネクタの反射率の影響を受けずに光センサの反射率にのみ依存した値で測定対象の物理量を測定できる光センサシステムを提供することである。
【解決手段】測定対象の物理量の変化に応じて反射率が変化する光センサ１２と、光センサ１２に対して光コネクタ１４を有した光伝送系を介して入射光を送信し光センサ１２での反射光を再び光コネクタ１４を有した光伝送系を介して戻り光を受信する光源・光検出ユニット１１と、光センサ１２と光コネクタ１４との間に接続され入射光の一部を透過し残りの入射光を反射する反射素子１５とを備え、光源・光検出ユニット１１は、光センサ１２による反射光の戻り光及び反射素子１５による反射光の戻り光を検出し、光センサ１２による反射光の戻り光量を反射素子１５による反射光の戻り光量で除算した値に基づいて測定対象の物理量を測定する。 （もっと読む）

【課題】電気を使用せずに、光ファイバーを用いた回転センサを提供する。
【解決手段】回転軸と一定の距離にある円周（以下、「第１円周」という。）を表面の一部とし、前記回転軸の周りに回転する第１回転体と、前記第１円周に沿って、かつ、第１回転体の表面にＮ極またはＳ極を向けて配置された複数の第１磁石と、前記第１円周と対向するように前記第１回転体の外部に配置され、磁界の状態を検出する第１近接センサと、を備える回転センサ。 （もっと読む）

【課題】発光素子の光軸調整作業や組立作業を容易にする光学式ロータリーエンコーダを提供する。
【解決手段】回転符号板を備えた回転部と、発光素子８と受光素子５を取り付けた回路基板をエンコーダフレーム９の対向する所定位置に固定した固定部とを別体で構成したロータリーエンコーダにおいて、回転スリット部１と発光素子８の間に狭光部１０を設け、前記狭光部１０をエンコーダフレーム９に一体で構成したことを特徴とする光学式ロータリーエンコーダである。 （もっと読む）

【課題】スケールの格子ピッチが狭くなっても、従来と同様の長いピッチの受光素子アレイで検出できるようにして、高速化・低価格化・小型化を実現する。
【解決手段】光源１０からの光を変調するための第１格子と、（メイン）スケール２０上に形成された第２格子２２と、前記第１、第２格子によって形成された干渉縞が投影される第３格子とを有する３格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、第１格子と第３格子の作用を兼ね備えた第１・第３兼用格子３２、３３をインデックス（スケール）３０に設け、該第１・第３兼用格子３２、３３上に生じたモアレ縞３４をレンズ光学系４０で検出する。 （もっと読む）

【課題】検出対象である回転体の回転角度の検出精度を向上させることができる。
【解決手段】舵角センサ１１は、ステアリングシャフト１２と一体回転する外歯車１４及びこれに噛み合う内歯車１５を備えた。外歯車１４及び内歯車１５の第１及び第２の検出面１４ａ，１５ａには、６つの第１及び第２検出部材２１，３１を環状に配設するとともに、これらの内側には環状の第１及び第２補助検出部材２２，３２を設けた。第１及び第２検出部材２１，３１の幅、並びに第１及び第２補助検出部材２２，３２の幅を検出してこれら幅情報を含む明暗情報を出力するラインセンサ４２を、第１及び第２の検出面１４ａ，１５ａに対向して配設した。ラインセンサ４２からの明暗情報に基づき外歯車１４及び内歯車１５の単位角度範囲内における回転角度を求め、これら回転角度の組み合わせに基づき外歯車１４の絶対回転角度を算出するマイクロコンピュータ４３を備えた。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの小型化を図る。
【解決手段】−１次回折光、０次光、＋１次回折光の入射位置の間隔は、トラック３１のビットパターンのピッチの３倍（３ｐ）となるように設定されている。駆動装置１６による振動ミラー１４の回転振動により、０次光、±１次回折光の入射位置は、互いの間隔を維持したまま、Ｘ軸方向に振動するようになる。この振動の振幅（半振幅）は、ビットパターンのピッチｐと同じとなるように設定されている。０次光、±１次回折光の入射位置は、等間隔のまま、それぞれ３ビット相当の領域を移動する。これにより、３つの回折光の入射位置は、全体で９ビット相当の幅で移動するようになる。これにより、３つの回折光を用いて９ビットの絶対位置情報を読み出すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの分解能を向上する。
【解決手段】インデックス回折格子１３で発生した回折光を、移動回折格子１５で再干渉させ、その干渉光の干渉縞（周期的な光強度分布）を変調ミラー１６の回転振動で振動させ、その周期的な光強度分布の位相変調したうえで、受光部１７でその変調信号を検出する。検出装置１８では、検出された変調信号の０次成分〜４次成分が検出され、そのうちの１次成分、２次成分に基づいて、インデックス回折格子１３に対する移動回折格子１５の相対変位量が導き出される。 （もっと読む）

【課題】スケールの格子ピッチが狭くなっても、従来と同様の長いピッチの受光素子アレイで検出できるようにして、高速化・低価格化を実現する。
【解決手段】光源１０からの光を変調するための第１格子１４と、スケール２０上に形成された第２格子２２と、前記第１格子１４、第２格子２２によって形成された干渉縞２４が投影される第３格子３０とを有する３格子型の光電式インクリメンタル型エンコーダにおいて、前記第３格子３０で生じるモアレ縞３２を受光素子アレイ４０に投影するためのレンズ光学系５０、６０を備える。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの回路構成を簡易なものにする。
【解決手段】変調に用いる信号ｆ（ｔ）を三角波とする。この場合、光センサでは、三角波に従って変調後の信号Ｉ（ｔ）が繰り返し観測されるようになる。検出装置では、ｃｏｓ（ｋωｔ）（ｋ＝１、２、…）をリファレンス信号として用い、周波数成分の同期検波を実施する。この同期検波により、ｃｏｓ（ωｔ）、ｃｏｓ（２ωｔ）の係数成分が得られ、その係数成分に含まれるｃｏｓ（ｘ）、ｓｉｎ（ｘ）が得られるようになる。このｃｏｓ（ｘ）、ｓｉｎ（ｘ）は、変位ｘを表す信号であるので、これらの値から、ヘッド部に対するスケール、すなわち移動体のＸ軸方向の相対変位情報を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】メインスケールに比べて加工が容易なスケールベースを用いて、光源と受光素子が同じ側に設けられた光電式エンコーダを構成する。
【解決手段】メインスケール１０と、該メインスケール１０の長手方向に相対移動可能な、少なくとも光源２２、インデックススケール及び受光素子２４を含むセンサユニット２０とを備えた光電式エンコーダにおいて、前記メインスケール１０を透明とし、その一面にトラック１１を形成して、メインスケール１０と略同じ長さか、これより長いスケールベース３０に固定し、前記メインスケール１０を透過してスケールベース３０により反射された光が、前記受光素子２４に入射するようにする。 （もっと読む）

【課題】小型化及びスケール上視野の拡大を図りつつ、像のパターンや形状を維持する。
【解決手段】メインスケール２０と受光素子３４の間に、レンズアレイ４６が挿入された光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、前記レンズアレイ４６により分割・反転された像を、電気的又は光学的に再反転させる。 （もっと読む）

【課題】光軸を傾けて光学系を小型化しても、像面全体でピントが合うようにして、コン
トラストの低下を防ぐ。
【解決手段】メインスケール２０と受光素子３４の間にレンズ４２が挿入されたレンズ光学系を持つ光電式エンコーダにおいて、前記メインスケール２０の表面、レンズ４２の主面、及び、受光素子３４の像面の３者を延長した面が１箇所で交わるシャインプルーフの関係となるように配置する。 （もっと読む）

【課題】 微少な移動量を検出でき、検出能力が低下しないエンコーダを提供する。
【解決手段】 光源２と、光源２からの光を受光して受光した光の強度を検出する受光素子３と、光源２と受光素子３との間に固定した、定ピッチＴのスリット４の列が設けられた固定スケール５と、光源２と受光素子３との間で被検物と共に移動し、固定スケール５と同じピッチＴのスリット６の列を有する移動スケール７とからなるエンコーダ１であって、光源２と固定スケール５または移動スケール７との間と、受光素子２と固定スケール５または移動スケール７との間との少なくともいずれかに、光を透過する透過開口８，１０を設けた開口板９，１１を有する。 （もっと読む）

【課題】両側テレセントリック光学系を用いた光電式エンコーダを、部品点数を増やすことなく小型に構成する。
【解決手段】メインスケール２０、２２と受光素子３４の間に、アパーチャ７０、８０と、該アパーチャ７０、８０に焦点が来るように、その両面に配設されたレンズでなる両側テレセントリック光学系５０が挿入された光電式エンコーダであって、同じボールレンズ６０に光を２回通すことにより、前記両側テレセントリック光学系５０を１つのボールレンズ６０で実現する。 （もっと読む）

【課題】スケール上視野を拡大し、汚れやうねりに対してロバストとすると共に、光源の信頼性を向上する。
【解決手段】メインスケール２０と受光素子３４の間に、レンズ４２と、その焦点位置に配設されたアパーチャ４４が挿入されたテレセントリック光学系４０を持つ光電式エンコーダにおいて、前記アパーチャを、測定軸方向に複数個（４２、４２ａ、４２ｂ）設けて、像を重ね合わせる。 （もっと読む）

【課題】等倍反転光学系を用いた光学式エンコーダにおいて、基準位置の検出安定性と検出精度とを両立させる。
【解決手段】投影手段４は等倍反転光学系からなり、光源２によって第１領域Ａに照し出された一方の基準スリットパタン２５ａを反転した基準スリットパタンの実像に等倍変換して第２領域Ｂに投影する。受光素子３は、第２領域Ｂを通過する他方の基準スリットパタン２５ｂをマスクとして反対方向に移動する基準スリットパタン２５ａの実像を受光して移動板１の基準位置を検出する。基準スリットパタンは各々不等ピッチで配列したスリット５からなり、基準スリットパタン２５ａは基準スリットパタン２５ｂに対してあらかじめ反転した関係で配されており、基準スリットパタン２５ａの実像に含まれる全スリット実像は、移動板１が基準位置に来た時のみ、第２領域Ｂで基準スリットパタン２５ｂに含まれる全スリット５と重なり合う。 （もっと読む）

【課題】レンズ光学系を用いた光電式エンコーダのレンズの倍率収差による信号検出効率低下を防止する。
【解決手段】メインスケール２０、２２と受光素子３２、３５の間にレンズ光学系（４０、４２）が配設された光電式エンコーダにおいて、受光素子３２上の光学格子３１又は受光素子アレイ３４の受光素子３５を、レンズ４０の歪曲収差による像の周期に合わせて配置して、周期の異なる格子像を信号として検出できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 誤作動なく正確に一点において基準点検出できる変位検出装置を提供する。
【解決手段】 スケール２００には回折格子が設けられ、第２トラック２２０は、格子ピッチが異なる第１回折格子領域２２１と第２回折格子領域２２２とから形成されている。第１回折格子領域２２１と第２回折格子領域２２２とは、一のトラック内において第１変化点２２３を挟んで連続して形成されている。受光手段３２０は、基板３３０上に配設され第２トラック２２０の回折格子からの回折光を受光して原点位置を検出する受光部３５０を備える。受光部３５０は、第１回折格子領域２２１からの１次（または−１次）回折光を受光する位置に配設された第１受光要素３５１と、第２回折格子領域２２２からの−１次（または１次）回折光を受光する位置に配設された第２受光要素３５２と、を備える。 （もっと読む）