【課題】試験ボード側からの更新要求に応じて簡単に試験プログラムを更新することができる半導体試験システムを提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る半導体試験システム１は、試験対象の半導体装置４が搭載される試験ボード２と、試験ボード２に半導体装置４の試験信号を出力する半導体試験装置３と、を備える半導体試験システムである。試験ボード２は、搭載される半導体装置４に応じて、半導体装置４に対応する試験プログラムを半導体試験装置３に要求し、要求した試験プログラムを半導体試験装置３に読み出し指令させるインターフェース回路５を有する。 （もっと読む）

【課題】検査コストの低減を実現可能な半導体検査装置を提供する。
【解決手段】例えば、被測定デバイスＤＵＴへの電源電流を検出して電圧に変換する電流・電圧変換回路ＩＶＣと、その出力電圧を受けて積分を行う積分回路ＩＴＧ１，ＩＴＧ２と、ＩＴＧ１の出力電圧とＩＴＧ２の出力電圧の差分を検出する累積値差出力回路ＤＦＯと、その出力電圧をディジタル値に変換するアナログ・ディジタル変換回路ＡＤＣを備える。例えば、ベクタ［１］における静止電流はＩＴＧ１で積分され、ベクタ［２］における静止電流はＩＴＧ２で積分され、この状態のＩＴＧ１の出力電圧とＩＴＧ２の出力電圧との差分がＤＦＯで検出される。 （もっと読む）

自動試験機器（ＡＴＥ）と被試験デバイス（ＤＵＴ）との間での信号の送信／受信のための方法及び装置が提供される。プローブカードは、複数のプローブに接続された複数の付随の近接したアクティブプローブ集積回路（ＡＰＩＣ）を有する。各ＡＰＩＣは、プローブを介して、ＤＵＴ上の１つ以上の試験接続点にインタフェース接続される。各ＡＰＩＣは、ＡＴＥとＤＵＴとの間で通信される信号の受信及び処理を行う。ＡＴＥから送信された低い情報コンテンツ量の信号が、ＡＰＩＣに直に隣接するプローブに送信される高い情報コンテンツ量の信号へと処理され、ＡＰＩＣによって受信されたＤＵＴからの高い情報コンテンツ量又はタイムクリティカルな信号が、低い情報コンテンツ量の信号としてＡＴＥに送信される。ＡＰＩＣはプローブに直に隣接しているので、ＤＵＴからの信号内には、最小限の情報損失又は情報歪みが存在するのみである。
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【課題】容易に被試験部の接続や被試験部の離脱が可能な試験システムおよびその制御方法並びに試験装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、被試験物に被試験信号を出力させる被試験部（１０）と、被試験信号を用い被試験物の試験項目を試験する試験部（２０）と、複数の被試験物の少なくとも１つから出力された被試験信号を複数の試験部（２０）のうち少なくとも１つに接続するスイッチ部（３０）と、を有し、被試験部（１０）は、試験部（２０）が試験可能な試験項目を示す試験項目情報を取得し、試験項目情報に基づき、試験すべき試験部を選択し、スイッチ部（３０）によって選択した試験部に被試験信号を接続させるための命令を出力する試験部選択手段を有する試験システムおよびその制御方法並びに試験装置である。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化やテストプログラムの複雑化を来たすことなく並列試験個数を従来よりも増大させる。
【解決手段】被測定デバイスをテストボード上に着脱自在に実装するＩＣソケットにおいて、試験装置本体からの制御指令に基づいて試験用信号を発生して被測定デバイスに出力する試験用信号発生部を備える。 （もっと読む）

【課題】判定結果を判定結果メモリに格納するのに要する時間を短縮し、バーンイン試験時間の短縮化を図ることのできるバーンイン装置を提供する。
【解決手段】バーンイン装置は、バーンイン試験において、第１基準信号に同期して、テスト信号を生成し、複数の被試験デバイスに供給する、テスト信号生成回路と、前記テスト信号に基づいて前記複数の被試験デバイスから出力された出力データと、その期待値データとが、一致するかどうかを第２基準信号に同期して判定し、その比較結果を、判定結果として順次出力する、判定回路と、被試験デバイス毎に判定結果を格納する領域が割り当てられている、判定結果メモリと、前記判定回路から順次出力された前記判定結果を、前記第２基準信号に同期して、前記判定結果メモリにおいて被試験デバイス毎に割り当てられている領域に格納する、判定結果格納回路と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】受光デバイスの光学特性（受光特性）の測定を比較的精度よく低コストで実現する。
【解決手段】受光デバイス測定装置は、被検査対象の受光デバイス１０に光を出射する第１発光デバイス１５と、第１発光デバイスと異なる向きに光を出射する第２発光デバイス１９と、第２発光デバイス１９からの光を受光し、当該光の受光量に応じた出力を発生させる受光手段２２と、測定手段（測定のための回路、ケーブルおよびＬＳＩテスタ等）とを有する。測定手段は、第１発光デバイス１５からの光を受光した被検査対象の受光デバイス１０の特性を測定し、受光手段２２からの出力に基づいて、当該測定結果を校正する、及び／又は、測定時における被検査対象の受光デバイス１０への電源供給を制御する。
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【課題】標準撮像状態いわゆる平行光状態と射出瞳距離が短いカメラセットの光学系に近似させるために開放状態または開放状態に近い状態で、主光軸に対して鈍角度を持った光を撮像素子に入射させる場合とで、各々の開口絞り設定が必要であり、感度不均一性およびシェーディングの測定も複数回に及ぶために、測定時間が長時間化するという課題があった。
【解決手段】本発明は、光源装置中の光源部とその射出開口部間に、特定波長の光のみを選択的に透過させる色フィルターを同一面上に同心円状に複数配置し、前記色フィルターを透過した光のみを固体撮像素子へ照射し、固体撮像素子上に選択的に形成された色フィルターの同一色の画素毎に感度不均一性もしくはシェーディングを個別に測定する。 （もっと読む）