【課題】 コンタクタに簡単に取り付け可能なプローブを提供する。
【解決手段】 コンタクタ１１には，貫通穴２０が形成される。プローブ１０には，貫通穴２０に嵌入できる嵌め込み・係止部３０が形成される。嵌め込み・係止部３０は，貫通穴２０を貫通し，先端部がプリント配線基板１２の接続端子１２ａに接触した状態で，コンタクタ１１に係止されるように形成されている。嵌め込み・係止部３０は，係止部３０ｃを貫通穴２０の上側の端面に引っ掛けることによってコンタクタ１１に係止される。 （もっと読む）

【課題】 半導体集積回路の高密度化に伴う狭ピッチ化に対応してプローブカード用プローブを細線化した場合には抗張力が低下するという問題が有り、抗張力の高い材料を使用した場合には電気抵抗値が高くなるという問題があり、プローブカード用プローブとして、抗張力が高く電気抵抗値の低い最適な材質で構成されたプローブがなかった。
【解決手段】 プローブカード用プローブの主要素材として、ナノ構造体炭素であるカーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、カーボンナノホーン、フラーレンのうち少なくとも一種類が混入された金属ガラスを使用するようにしたものである。 （もっと読む）