【課題】絶縁操作棒の各種先端工具を付け替える必要なく、事故点探査対象の電線における地絡箇所の探査を行うことができるようにして、手間なく、効率よく事故点探査作業を行うことのできる事故点探査用課電端子を提供すること。
【解決手段】電線が架線されている高所まで届く絶縁操作棒１００の先端に着脱可能に連結するジョイント部２１と、電線に引っ掛けて吊り下げた状態にする吊下部１２と、事故点探査対象の電線に吊り下げた状態にして該電線に導通接続させる針電極と、を備えており、本体筐体の側面の前側にＳ極となる磁石１８ａを配設する一方、後ろ側にＮ極となる磁石１８ｂを配設して互いに磁力により吸着係合して支持可能にすることにより、操作棒の先端に連結した事故点探査用課電端子１０に別個の事故点探査用課電端子を支持させるようにする。 （もっと読む）

【課題】直径１ｍｍ以下の球形導電体の電気抵抗を正確に評価する。
【解決手段】球形導電体の電気抵抗を４端子法にて評価できるようなプローブ構造を工夫した。具体的には、２つの対向電極間に球形導電体を挟み込み接触させ定電流を流すための電流プローブ、および球形導電体表面上の２点間の電位差を測定するための電圧プローブを独立に設置し、正確な評価を可能にした。 （もっと読む）

【課題】プローブや試料を破損させるおそれがなく、すばやくプローブ先端を試料に接触させることができるプローブ付き顕微鏡を提供する。
【解決手段】プローブが試料方向に接近している最中に、顕微鏡から得られる画像を認識して、認識領域内のプローブ面積を計算することによってプローブから試料までの距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】プローブを当接させる外部電極の傾きや異物の有無を容易に判定して、異常な当接によるプローブの破損を防止する。
【解決手段】被検査物７の一面を撮影した画像情報より外部電極１４を検出する検出部１６と、前記外部電極１４にプローブ１７を当接させることで特性を検査する検査部１８とを有する特性検査機であって、前記検出部１６で、外部電極１４内の画像情報から、異物の有無と、傾きとを検出してその良否を判定した後、前記検査部１８で良品の外部電極１４のみに前記プローブを当接させて検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 より高温下で使用可能なプローブカードの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 コンタクトプローブ１０及び電極パッド２２の各接合界面を同一の金属材料により形成する。複数のコンタクトプローブ１０の周囲がコンタクトプローブ１０とは異なる金属材料で固められたブロック体３０を準備する。各コンタクトプローブ１０及び各電極パッド２２の各接合界面を活性化させて会合させることにより接合した後、コンタクトプローブ１０を固定しているブロック体３０の金属材料を溶融させる。これにより、コンタクトプローブ１０及び電極パッド２２の間に融点の低い溶融層を形成する必要がないので、コンタクトプローブ１０及び電極パッド２２を融点の高い金属材料で形成すれば、コンタクトプローブ１０及び電極パッド２２が高温になるまで溶融せず、より高温下で使用可能なプローブカードを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】
横長かつパッド寸法が小さいチップの測定においても、プローブ針の接触不良が発生しないよう、プローブカードのウエハに対する位置のずれを、直接的に把握できるプローブカードの取り付け位置ずれの検出方法及びプローバ装置を提供する。
【解決手段】
プローバ装置のウエハステージ上に固定されたウエハの電気的特性を測定するためのプローブカードの取り付け位置ずれの検出方法及び装置であって、プローブカード上の少なくとも２箇所に設けられた位置ずれ検出用マークに対し、プローブカード上方からウエハ上面に対して略垂直に光を照射し、位置ずれ検出用マークの像をウエハに設けられた基準マークに重なるように投影し、その投影された位置ずれ検出用マークの投影像とウエハ上に設けられた基準マークとを、画像取り込み手段により取り込み、解析することで、プローブカードの取り付け位置のずれ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 熱変形によるプローブ位置の変位が小さい簡単な構造のカードホルダの実現。
【解決手段】 プローブカード24を取り付けるカードホルダ23であって、カードホルダ23をプローバ10に固定するための略環状の周辺部分51と、周辺部分の内側の、プローブカードが取り付けられる略環状の薄い板状部分52と、板状部分の中心に設けられ、プローブカードのプローブが設けられた部分が配置される穴53と、周辺部分と板状部分の間の、被検査物Wが配置されるのと反対側の表面に設けられた略環状の溝54と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高周波回路基板等４６に搭載された回路素子が残留磁気の影響を受けることがないようにして、正しく調整や検査および測定がなし得る高周波回路基板等のテスト用テーブルを提供する。
【解決手段】非磁性体からなる基台１０に、高周波回路基板等４６を固定するための非磁性体からなる基板固定台３２の配設位置が調整自在となるように配設し、基台１０にプローブ用自在アーム１６の基端を固定し、高周波回路基板等４６に先端を当接させる同軸プローブ２０をプローブ用自在アーム１６の先端部に配設し、基台１０を電気的に接地するためのグランド端子５０を設ける。 （もっと読む）

本発明によるＭＥＭＳ技術を利用した中空型マイクロプローブは、所定部に貫通ホールが形成された基板と、その基板に形成した貫通ホールの内部に充填される導電性埋込体と、その導電性埋込体を貫通ホール内部に充填した基板上に形成されるベース導電膜と、そのベース導電膜上に具備され、下方に傾いた傾斜面を持ち上面がラウンディングされた第１ティップ支持体と、その第１ティップ支持体の外側表面に具備され、第１ティップ支持体の上部を開口によって開放させ第１ティップ支持体の上部に突き出させた第２ティップ支持体と、その第２ティップ支持体の外側表面に具備された導電性材質のティップと、を有する。
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【課題】 ＩＣカード表面の外部接続端子の表面抵抗の測定を簡単かつ高精度に行うことができるプローブ装置を提供する。
【解決手段】 本発明のプローブ装置２０は、ＩＣカードＣが載置される載置面２１ａを有する測定台２１と、測定台２１に立設されたガイド軸２５に沿って載置面２１ａに対して垂直方向に移動自在な可動部材２２と、可動部材２２に取り付けられた複数本のプローブ２８を載置面２１ａに対して垂直方向に支持するプローブホルダー２３と、可動部材２２の上下移動を操作する操作レバー２４とを備え、可動部材２２の下限位置は、プローブ２８と載置面２１ａ上のＩＣカードＣとの間に所定の接触圧が得られる高さ位置とされると共に、その下限位置を保持するように可動部材２２を測定台２１へ向けて付勢する付勢部材３８が設けられている。 （もっと読む）