【課題】 導電性接着剤の電気的特性を非破壊で正確に検査できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 接着樹脂と導電性フィラーからなる導電性接着剤によって接合された接合部を有する試験体を、荷重試験部１０における試験体保持部に固定する。制御部２は、駆動制御部８を制御し、上記接合部に荷重を繰り返し加えさせながら、抵抗値測定部９を制御し、上記接合部の抵抗値を測定させ、測定結果をデータ蓄積部４に記憶させる。また、制御部２は、測定した抵抗値と予め設定された判定基準値とを判定部５に比較させ、上記接合部の電気的特性の良否を判定する。 （もっと読む）