【課題】少数の部品でケルビンプローブを構成することができ、しかも、複数個のケルビンプローブを比較的細かい間隔で配置できること。
【解決手段】ケルビンプローブを構成する一対のプローブ２８ａｉが、互いに略平行に配される支持基板２６Ａおよび２６Ｂ相互間であって、プラスチックで筒状に成形されたハウジング部材３０ａｉにおける隣接して形成される円形断面を有する貫通孔３０ａ内に、それぞれ、配されているもの。 （もっと読む）