【課題】高感度化が可能な検出素子を提供する。
【解決手段】検出素子１０は、基体１，４と、絶縁部材２，３と、支持体５と、電極６，７とを備える。絶縁部材２は、基体１の一主面に形成され、凹部を有する。絶縁部材３は、絶縁部材３および基体４に接して形成される。基体４は、支持体５の一主面に形成される。電極６は、基体１の絶縁部材２が形成された面と反対面に形成される。電極７は、基体４に接続されるように支持体５の表面５Ａ、側面５Ｂおよび裏面５Ｃに形成される。その結果、検出素子１０は、絶縁部材２，３によって囲まれた間隙部８を備える。また、基体１は、絶縁部材２，３および支持体５（石英）を介して基体４と結合される。そして、電圧が電極６，７間に印加されたときに基体１，４間に流れる電流が測定され、間隙部８に入った検出対象物が検出または分析される。 （もっと読む）