Fターム[2G046BG00]の内容
流体の吸着、反応による材料の調査、分析 (10,319) | 流体調節に関する構造 (155)
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スタック構造及びスタック構造の製造方法
【課題】シリコン基板以外の基板で構成されるスタック構造及びスタック構造の製造方法を提供する。
【解決手段】一方の面2aに密着膜8を介して発熱抵抗膜6が形成されてなる薄膜ヒータ5が設けられた第1ガラス基板2と、第2ガラス基板4とを積み重ねて陽極接合されてなるスタック構造1は、第1ガラス基板2の一方の面2aのうち、密着膜8以外の部分に、第2ガラス基板4を陽極接合するための接合膜3が形成され、密着膜8と接合膜3とが同じ成分組成である。
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