【課題】微小な表面欠陥を検査する表面検査装置に対して適切な校正を行うべく、信頼性の高い性能評価を行うことができる表面検査装置の評価装置及び表面検査装置の評価方法を提供する。
【解決手段】校正装置３０は、表面検査装置１０のリング照明１１及びカメラ１３を検査時の相対位置関係を保ったまま後退させて検査面１ａから離反させ、そこに校正板４０を配置する。このとき、校正板４０からリング照明１１までの距離を、検査時における検査面１ａからリング照明１１までの距離と同じにする。また、校正板４０には、検査対象の微小表面欠陥と同等レベルの穴４１を形成しておく。この状態で、カメラ１３によって校正板４０の表面画像を撮像し、検査時と同様の画像処理を行って、校正板４０の穴４１を適切に検査できているか否かを確認することで、表面検査装置１０の検査性能を評価する。 （もっと読む）

【課題】プラスチック積層体の全数外観検査を可能にする装置及び方法を提供する。特に、アイウェアに加工される、枚葉シートの光学用積層体の全数外観検査を可能にする装置及び方法、更に、最終加工工程において有利な積層体を提供する。
【解決手段】装置は、（１）積層体を連続的に運ぶ手段、（２）積層体の欠陥を検査する手段、（３）積層体に保護フィルムを貼り合わせる手段及び（４）積層体の欠陥部分をマーキングする手段から構成される。 （もっと読む）

【課題】検査対象である製品の色調に依存することなく、極めて簡易且つ安価な構成で、製品の検査を高精度に行うことができるとともに、形状や仕様の異なる種々の製品に容易に対応することのできる製品検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】製品の基準部１６ａ〜１６ｄが位置決めボルト３８ａ〜３８ｄに当接した状態において、検査部１２ａ〜１２ｄがアダプタ１０４を介して検知ブロック１０２を矢印Ｚ方向に変位させると、その変位がリンク部材７８によって増幅され、変位ブロック６８の矢印Ｘ方向に対する変位に変換される。変位した変位ブロック６８は、ＣＣＤカメラ２０によって撮影され、その画像に基づき、製品の良否が判定される。 （もっと読む）

【課題】 検査対象のスクリーン製版におけるピンホールなどの欠陥を容易に検出することができるスクリーン製版の検査装置の提供。
【解決手段】 スクリーン製版の検査装置は、被着パターンを形成する樹脂層が網状基材に設けられたスクリーン製版の検査装置であって、検査対象スクリーン製版が垂直面内において移動自在に移動する移動機構と、検査対象スクリーン製版が前記移動機構により移動するよう、垂立状態で保持する可動保持機構と、この可動保持機構に保持された検査対象スクリーン製版に光源よりの光を集光して照射する光照射機構と、検査対象スクリーン製版の少なくとも一部の領域を透過した光による像を拡大して投影する拡大投影機構とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、ガラス基板の品質検査装置に関する。本発明は、波形の発生有無を検査するための照明部の照明がガラス基板だけに透過されるようにし、カメラにガラス基板表面の影映像をより鮮明に撮影されるようにするとともに、前記影映像による波形が種類別発生有無を微分アルゴリズムでより精密に検査できるようにしたものである。これによって、移送ユニットを介して連続的に移送されるガラス基板の品質状態をリアルタイムで検査し、製品に対する品質満足度を向上させるとともに、ガラス基板の品質検査に必要とされる時間を節約することで、連続する蒸着やエッチング、スパッタリングなどのプラズマを用いる工程が迅速に行われるようにする。
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【課題】実際の半導体プロセスおいて発生する微小欠陥に対応した欠陥検出感度を十分に保証し、特に欠陥検査装置の照明手段の光源交換後の感度調整を判断する指標として製造管理に利用する。
【解決手段】パターン８と、サイズの異なるコーン欠陥であり、シリコン基板１上にランダムに形成された擬似欠陥部７とを備えた欠陥検出感度校正標準基板を用いて、欠陥検査装置の照明部２１におけるランプ２１ａの交換後の感度調整を判断する指標として製造管理に利用する。 （もっと読む）