【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、ＬＥＤの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 （もっと読む）

【課題】背景が含まれる場合であっても、背景の明るさの影響を低減して検査対象物表面の明るさを自動的に調整することができる画像処理装置、該画像処理装置で実行する画像処理方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】検査対象物を含む撮像領域を撮像する撮像部と、撮像領域を前記撮像部で撮像した画像に対して画像処理を実行する画像処理部とを備える。画像処理部は、撮像部から出力された画像の撮像領域内に設けられ、各々が複数の画素を含む複数の小領域ごとに、検査対象物が存在する可能性を示す特徴量を算出する。算出した特徴量に基づいて、少なくとも検査対象物を含む画像の明るさの評価値を算出し、算出した評価値に基づいて、画像の明るさを調整するための調整信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 印刷不良であるか否かをシートごとに判定して、シートごとの判定結果に基づいて印刷装置を制御する場合、印刷不良の種類によっては、適切な制御が行えないことがある。
【解決手段】 本発明は、印刷不良の発生箇所の特徴に基づいて印刷不良の種類を判定し、判定された印刷不良の種類に応じた印刷装置の制御を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 撮像カメラの処理能力に制約を受けることなく、検査時間を短縮することができる自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】 テーブル部、走査ステージ部、ストロボ照明部、鏡筒部、撮像部並びに、予め登録しておいた検査条件に基づいて、撮像された検査対象物の画像の良否判断をする検査部とを備え、
走査ステージ部には、テーブルの現在位置を計測する位置計測手段が備えられており、
鏡筒部には、観察光を一部透過させると共に、角度を変えて一部反射させる、
光分岐手段が備えられており、
鏡筒部には、光分岐手段で分岐された光を各々撮像することができるように、撮像部が複数取り付けられており、
制御部は、ストロボ発光させる毎に、撮像に用いる撮像部を逐次変えて撮像を行う機能を備えていることを特徴とする、自動外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】 ウェハを検査する際の下地の影響を低減させた検査装置を提供する。
【解決手段】 検査装置１は、複数種の波長を有する照明光でウェハを照明する照明部３０と、照明光により照明されたウェハを撮影する撮影部４０と、複数種の波長毎に所定の重み付けを行って撮影部４０により撮影されたウェハの検査用撮影像を生成するとともに、生成した検査用撮影像に基づいてウェハにおける欠陥の有無を判定する画像処理部２７とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】オペレータが表面検査装置を調整する際に、基準板等の特殊な道具を用いることなく、調整を容易に行うことが可能な調整データを出力する。
【解決手段】調整部５１の分散値算出部１１は、カメラ３のレンズ位置を所定位置に設定するための位置指令をレンズ位置設定部１２に出力し、レンズ位置設定部１２から所定位置への移動の完了を入力すると、カメラ３から反射光の強度を入力し、反射光の強度の分布に基づいて分散値を算出する。最大位置決定部１３は、分散値算出部１１からレンズ位置及び分散値を入力し、全てのレンズ位置及びそれに対応する分散値を得た後、全ての分散値のうち分散値が最大となるレンズ位置を最大レンズ位置として決定する。調整データ出力部１４は、レンズ位置、反射光の強度の分布、分散値及び最大レンズ位置を調整データとして出力する。 （もっと読む）

【課題】現在の手動検査プロセスを置き換える自動化検査システムおよび方法を提供すること。
【解決手段】自動化欠陥検査システム（１０）が発明され、これはパターン化されたウェハ、全ウェハ、破損ウェハ、部分ウェハ、ワッフルパック、ＭＣＭなどを検査するために使用される。この検査システムは、特に、スクラッチ、ボイド、腐食およびブリッジング、などの金属化欠陥、ならびに拡散欠陥、被覆保護層欠陥、書きこみ欠陥、ガラス絶縁欠陥、切込みからのチップおよびクラック、半田隆起欠陥、ボンドパッド領域欠陥、などの欠陥のための第二の光学的ウェハ検査のために意図され、そして設計される。 （もっと読む）

【課題】加工面の鋳巣の寸法計測に役立つ鋳巣の範囲を精度よく判定できる加工面欠陥判定方法及び信頼性の高い加工面品質検査方法を提供する。
【解決手段】２値化、輝度傾き抽出の処理ステップ１０２，１０３で加工面の原画像の２値化画像、輝度傾き抽出画像を得る。両画像を重ね合わせ処理ステップ１０５で重ね合わせて作成した欠陥検出用画像から鋳巣判定処理ステップで加工面の鋳巣の範囲を判定する。鋳巣判定処理ステップ１０６では、２値化画像中の鋳巣部分が拡大処理された２値化画像と輝度傾き抽出画像との論理積をとり、得られた鋳巣〔輝度傾き抽出画像における鋳巣（エッジの範囲）〕の範囲を判定結果として、２値化処理の閾値の高低に拘わらず精度のよい鋳巣範囲の判定を可能とした。同欠陥判定方法を品質検査方法に適用した。 （もっと読む）

【課題】被測定物体から試料を切り取る必要がなく、機械的駆動部を備えておらず持ち運びが容易にできる反射特性測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】反射特性測定装置１は、被測定物体を照明する照明部1ａと、照明部1aにより内部を照明できるようにした拡散ドーム1bと、拡散ドーム1bの頂上に取り付けた魚眼レンズ1cと、魚眼レンズ1cを取り付けた受光部1dと、画像処理部1eを備えて構成されている。被測定物体からの反射光は拡散ドーム1bの内壁に映り込み、このときの光強度分布を受光部1dで撮像する。そして、撮像した画像から画像処理部1eで被測定物体上の反射点の位置を検出し、このときの位置を基準として拡散ドームの径に応じた球座標に変換する。このようにすると、反射点の反射特性を一度の撮像で取得して、さらに３次元表示できる。 （もっと読む）

【課題】管内面の状態や寸法によらずに管内面を検査することができる管内面検査装置およびその検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、管２内面の検査箇所にパターンを有するパターン光Ｐ１を管２内面の周方向にわたって投影する投影手段１１と、検査箇所に投影され反射されたパターン光を反射パターン光Ｐ２として投影する表示手段１２と、反射パターン光Ｐ２の形状を観測する観測手段１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】投光器および受光器の診断機能を有する鋼帯の穴欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】連続的に搬送される鋼帯１を挟んだ上下に配置された投光器２および受光器３と、これらより少し上流に配置された溶接穴検出器５と、トラッキング装置６と、穴欠陥検出制御装置７と、表示装置８とからなる。穴欠陥検出制御装置７は、鋼帯１に穴欠陥があるかどうかを常時検出する穴欠陥検出部７１と、投光器２を常時診断する投光器診断部７２と、受光器３を所定のタイミングで診断する受光器診断部７３を有する。受光器診断部７３は、鋼帯１のコイル間の溶接部に設けた穴が穴欠陥として検出されたタイミングとほぼ同時か、前記穴が前記受光口の上を通過し前記溶接部が前記受光口の上に存在すると予測されたタイミングで、受光器の光検出器に診断光を入射して、受光器の光検出器からの光検出信号に基づいて受光器を診断する。 （もっと読む）

【課題】投光器および受光器の診断機能を有する鋼帯の穴欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】連続的に搬送される鋼帯１を挟んだ上下に配置された投光器２および受光器３と、光ファイバ４と、これらより少し上流に配置された溶接穴検出器５と、トラッキング装置６と、穴欠陥検出制御装置７と、表示装置８とからなる。穴欠陥検出制御装置７は、鋼帯１に穴欠陥があるかどうかを常時検出する穴欠陥検出部７１と、投光器２を常時診断する投光器診断部７２と、受光器３を所定のタイミングで診断する受光器診断部７３を有する。受光器診断部７３は、鋼帯１のコイル間の溶接部に設けた穴が穴欠陥として検出されたタイミングとほぼ同時か、前記穴が前記受光口の上を通過し前記溶接部が前記受光口の上に存在すると予測されたタイミングで、前記溶接部に対する穴欠陥検出が行われている間に、受光器の光検出器に診断光を入射して、受光器の光検出器からの光検出信号に基づいて受光器を診断する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物２の表面の凹凸パターンのサイズ変動を検査するマクロ検査装置１００である。マクロ検査装置１００は、被検査物２を乗せるためのステージ１と、被検査物２の表面に対して所定の角度方向から被検査物２側に光を照射する拡散光源５と、被検査物２の表面からの反射光を受光可能なラインセンサ９と、被検査物２とラインセンサ９との間に設けられ、反射光のうち拡散光源５のエッジ部からの光束に起因する反射光束が、ラインセンサ９の両端の少なくとも一方に設けられた所定領域でのみ受光されるように、反射光をラインセンサ９に導くための光学系と、を備える。 （もっと読む）

【課題】管内面のきずの検出精度が高く、かつ、手間とコストがかからない管内面検査方法、及び管内検査装置を提供する。
【解決手段】環状照明３を鋼管２の端面２１に対向させて環状照明３の中心軸３２と鋼管２の管軸２２とを略一致させ、照明光を鋼管２の内面２３に向けて出射し、かつ、カメラ４を鋼管２の端面２１に対向させてカメラ４の光軸と鋼管２の管軸２２とを略一致させ、端面２１及び内面２３を撮像する。撮像した画像から、内面画像を抽出し、内面画像を径方向に複数の環状領域に分割する。分割した環状領域毎に濃度の基準範囲を設け、濃度が該基準範囲から外れた画素群をきず候補画素群として抽出する。きず候補画素群を含む所定の画素領域の画素の濃度から環状領域毎に定めた所定の濃度を減算し、濃度を減算された画素領域を管内面の径方向から見た場合の画素領域に変換し、変換した画素領域からきずの有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】現場作業者、構造物管理者、材料専門家の三者をリアルタイムで同時に結びつけるコンクリート構造物の劣化診断用画像表示システムの提供。
【解決手段】劣化状況を表す画像情報等を共有でき、オンラインで、即時に材料専門家がコンクリートの変状を観察し、劣化状況を診断し、さらに、詳細検査の必要の有無と判断とその方策をたてるための画像を表示することが望まれる。また、劣化状況の詳細の判定とデータ取得には、三者で、音声をその場で相互に交換し、又は、その場で、双方向に連絡して、画像中の着目点位置と画像サイズを指定できるシステム（画像のスケール、縮尺が自動表示される機構も含む）を実現する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの表面に生じうる特定欠陥をより確実に検出することが可能な検出方法、検出システムおよび検出プログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の特定欠陥の検出方法は、ウェーハの表面に光を照射して該ウェーハの表面上の欠陥の位置に対応して検出される輝点の面内位置情報である輝点マップを取得する工程（Ｓ１０１）と、前記輝点マップにおいて、特定欠陥の発生が予想される領域である判定対象領域と、該判定対象領域以外の所定領域である参照領域とを特定し、前記判定対象領域における輝点密度の、前記参照領域における輝点密度に対する比を算出する工程（Ｓ１０２）と、算出された前記比の値に基づいて、前記特定欠陥の発生の有無を判定する工程（Ｓ１０３）と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数のろ過膜板が搭載されるろ過装置において、亀裂や膜形成不具合などの欠陥の有るろ過膜板を自動的に特定することができる画像処理によるろ過膜板検査装置を提供することにある。
【解決手段】水槽内の液体に浸漬して配置された複数のろ過膜板を撮影する上部カメラ１１と、複数のろ過膜板を上部カメラにより撮影した基準画像と、複数のろ過膜板へ気体を圧送しつつ上部カメラにより撮影した入力画像とを比較して、差分画像を作成する差分処理部１３と、差分画像に対して二値化処理を行うことにより二値画像を作成する二値化処理部１４と、二値画像に基づき変化が発生した画素の分布を計算して分布データを出力する変化分布計算部１５と、分布データに基づき、欠陥の有るろ過膜板を特定して結果データを出力する欠陥有無判断部１７とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】ノズル穴に生じる欠陥の種類を特定可能なノズル外観検査装置、およびノズル外観検査方法を提供すること。
【解決手段】ノズル外観検査装置１００は、ノズル穴の開口部の画像を取得する画像入力手段６０と、画像の二値化画像を生成する二値化手段６１と、二値化画像からノズル穴の内輪郭および外輪郭を検出する輪郭検出手段６２と、内輪郭の近似円である内輪郭近似円および外輪郭の近似円である外輪郭近似円を算出する近似円算出手段６３と、内輪郭および外輪郭と内輪郭近似円および前記外輪郭近似円とを比較して、内輪郭および外輪郭の形状の特徴を示す特徴フラグを内輪郭および外輪郭上の各点に対して設定するフラグ設定手段６４と、特徴フラグに基づいて欠陥の種類を示す欠陥フラグを設定し、欠陥の種類とその位置を検出する欠陥検出手段６５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面における光の照射位置に微小な凹凸が形成されている場合でも、この凹凸の影響を排除しつつ、予め規定された高さ以上の異物欠陥が対象物の表面上に存在するか否かを判定する。
【解決手段】表面欠陥検査装置１０は、ウェハ２６の表面に斜方から光を照射するラインレーザ１４と、ウェハ２６の表面におけるラインレーザ光２８の照射位置Ｐ２よりもラインレーザ１４側の位置であってウェハ２６の表面から予め規定された高さ離間した規定高さ位置Ｐ１において反射したラインレーザ光２８の反射光を検出するための第一ラインカメラ１６と、照射位置Ｐ２において反射したラインレーザ光２８の反射光を検出するための第二ラインカメラ１８と、を備えている。 （もっと読む）