Fターム[2G052JA00]の内容
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Fターム[2G052JA00]に分類される特許
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絶縁物の二次イオン質量分析方法
【課題】絶縁物の分析対象となる領域における帯電を補正することにより、正確かつ再現性良く質量分析を行うことが可能な絶縁物の二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の絶縁物の二次イオン質量分析方法は、絶縁物である試料の表面に導電性の連続膜であるPt−Pd合金薄膜を成膜し、このPt−Pd合金薄膜付き試料に一次イオンビーム及び電子ビームを照射し、この試料から発生する二次イオンを引き出し、質量分析する。
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