【課題】低コストであり、試料の特性などを検査する検査モジュールとして汎用的に利用することができる。
【解決手段】検査装置１は、直列に接続された２つのＣＲ並列回路と、前記２つのＣＲ並列回路に矩形波電圧を印加する電源回路部と、前記２つのＣＲ並列回路の接続部の電圧を検出する電圧検出部５と、を備えており、前記２つのＣＲ並列回路のうち少なくとも一方の前記ＣＲ並列回路は、試料を挟んで対向する電極対１１、１２であることを特徴とする。 （もっと読む）