【課題】有機シリコーンガスに対する耐被毒性能が高く、ガスセンサの検出感度の回復時間をより短縮化させ、さらに被覆層におけるひび割れや剥離が生じ難いガス検知素子を提供すること。
【解決手段】検出電極２と、金属酸化物半導体を含むガス感応部４と、ガス感応部４を加熱する加熱部３とを備えるガス検知素子であって、ガス感応部４の外周面に、無定形の酸化アルミニウムを含む被覆層５を設けてあるガス検知素子。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】 通電により加熱された状態で検知対象ガスに感応するガス感応素子を有するガスセンサを具えてなるものにおいて、電源投入後、ガス濃度測定を行うことのできる状態を早期に得ることのできるガス検知器を提供すること。
【解決手段】 前記ガスセンサを具えたガス検知器において、ガスセンサの起動時にゼロガスが導入されている状態において、センサ出力値が対数関数的に経時的に変化する特定の時間範囲内で選ばれた２つの測定時の各々においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値に基づいて、前記特定の時間範囲内におけるいずれかの測定時を出力補正対象測定時として当該出力補正対象測定時におけるセンサ出力値を予測して、これを補正用出力値として取得し、この補正用出力値に基づいて、前記出力補正対象測定時においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値を補正する機能を有する出力補正機構を具えてなる。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサで雰囲気の測定中も装置の故障を検出することができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ヒータとガス検出部とを備えたガスセンサ１を用いて、その出力からガスを検出するようにしたガス検出装置であって、電源周波数に同期させた矩形波信号をマイクロコンピュータ２の第１ポートＰＴ１から出力することによって電源周波数に同期させた矩形波電圧を前記ヒータに印加して前記ヒータに電力を供給する電力供給手段と、マイクロコンピュータ２の第２ポートＰＴ２に入力される信号から前記ヒータに供給される電力の変化に同期したガスセンサ出力の変化の有無を判断し、前記ヒータに供給される電力の変化に同期したガスセンサ出力の変化の有無から装置の故障を検出する故障検出手段とを、設けているガス検出装置。 （もっと読む）

【課題】形状が均一で特性の揃った傍熱型感温抵抗素子を提供すること。また、前記傍熱型感温抵抗素子を用い、応答スピードが速く、高精度で機械的強度に優れた絶対湿度センサを提供すること。
【解決手段】
傍熱型感温抵抗素子は、基板と、該基板上に形成された絶縁膜と、該絶縁膜上に形成された感温抵抗膜と、該感温抵抗膜の周囲を取り囲む前記絶縁膜上に形成された加熱用抵抗膜と、前記感温抵抗膜と前記加熱用抵抗膜とをそれぞれ外部に電気的に導出するために前記基板上に形成された電極パッドとから構成されている。絶対湿度センサは、二つの凹部が対称に形成され、一方の凹部に貫通孔が形成されたケースと、該ケースの凹部のそれぞれに配置された前記傍熱型感温抵抗素子と、前記傍熱型感温抵抗素子を前記ケースとで閉塞する蓋部とから構成さている。 （もっと読む）