【課題】本発明は、ＴＨｚ波光源と半導体集積回路とを基板に集積化して、室温動作のコンパクトなテラヘルツ波集積回路を提供すること、さらにこれを用いて試料からのＴＨｚ帯での物理・化学的な情報を取得できるようにする。
【解決手段】
半導体集積回路を有する基板に、室温動作のテラヘルツ波発光素子を備え、これからのテラヘルツ波と半導体集積回路とを結合させ、テラヘルツ波検出器を搭載してあり、さらに、必要に応じて、ミキサ、ＴＨｚ周波数動作可能なトランジスタをも搭載して、コンパクトなテラヘルツ波集積回路とすると共に、外部に発光したＴＨｚ波を取り出し、被計測用試料に照射して、そこから戻るＴＨｚ信号を基板に戻して信号処理をする。必要に応じて画像化できるようにする。 （もっと読む）