【課題】目標形状からの光学面のずれを測定する方法および装置において、精度を改善した方法および装置を提供する。
【解決手段】波長λを有する電磁光線の入射ビームを光学試験面に向け、光学試験面と相互作用した測定ビームを生成し、参照ビームに測定ビームを重畳して干渉計を用いた測定を行い、参照ビームからの測定ビームの波面ずれを決定し、この測定に基づいて決定した波面ずれにおける追跡エラーを除去して波面ずれを補正する。波面ずれを最小化するように光学試験面と干渉計の光学構成部材とを最適に整列した状態で測定を行った場合に１０×λより大きい波面ずれが得られるように光学試験面を構成し、測定中に測定ビームによって干渉計に蓄積された収差と、最適の整列状態で得られる波面ずれがλより小さくなるように光学試験面を構成した場合に測定ビームによって蓄積されたであろう仮想収差とが異なるようにし、蓄積された収差の差によって波面ずれに追跡エラーを生じさせる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、回折光学素子を含む被検体の回折性能を精密に測定するのに好適な回折性能測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の回折性能測定装置の一態様は、所定の波長帯域の光を出射する光源（１）と、前記光源が出射した光から前記波長帯域より狭い波長帯域の光を抽出する分光波長連続可変型のモノクロメータ（１０）と、回折光学素子を含む被検体（２７）へ前記モノクロメータが抽出した光を投光する投光部（２５）と、前記投光部が投光した光に応じて前記被検体で発生した回折光の強度を検出する検出部（２８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】補正板の歪みを防止した上で、補正板を容易に保持することができるとともに、装置の薄型化を図ることができる補正板の保持枠、それを備えた干渉計及び補正板の保持方法を提供する。
【解決手段】干渉計によるピックアップレンズの収差測定に用いる補正板２４の保持枠であって、補正板２４の下面２４ａを略水平に載置して保持する保持部２２と、保持部２２に保持された補正板２４の上面２４ｂに対して、３個以上の突起部２６を当接させて補正板２４を保持部２２との間で挟持する撓み変形可能な押え部材２５と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い検出精度を有する周期性パターンのムラ検査装置及びムラ検査方法を提供す
る。
【解決手段】周期性パターンが形成された基板上の撮像対象エリアを少なくとも２つのエリアに分割し、前記基板下に左右上下の４箇所設置された光源の光量を個別に調整する。次に撮像エリア外描画部による底面反射が生じないように、前記基板の下のステージに前記基板の左右上下の４軸方向に平行に、それぞれ独立かつ単独で駆動する、照明光を遮蔽する遮蔽板を４つ設置し、撮像対象外エリア外描画部を覆うようにそれぞれの遮蔽板を移動させ、調整した輝度レベルで各分割エリアをそれぞれ撮像し、撮像した分割画像データをそれぞれ取り込み、取り込んだ分割画像の大きさに応じた条件で互いにつなぎ合わせて合成し、該合成画像を用いてスジ状ムラを判定する、擬似欠陥除去手段を具備するスジ状ムラの検査方法及び検査装置を提供する。 （もっと読む）