【課題】 レジスト、レジスト下層膜、レジスト上層膜、ハードマスク材料、及び耐電防止材料等の極端紫外光の吸収係数や吸収率を測定するための測定材料と測定方法を提供する。
【解決手段】 樹脂、極端紫外光感応性化合物、感応性色素、及び溶剤を含む極端紫外光の吸収係数測定用支持膜形成組成物。極端紫外光感応性化合物が、極端紫外光の照射によりラジカル、酸、又は塩基成分を発生する化合物である。感応性色素が、ラジカル、酸、又は塩基の作用により１９３〜８００ｎｍの波長域で吸収変化を起こす化合物である。基板上に極端紫外光の吸収係数測定用支持膜形成組成物を塗布し吸収係数測定用支持膜を形成する工程、上記支持膜上に被測定膜形成組成物を塗布し被測定膜を形成した被覆支持膜を得る工程、極端紫外線で被覆支持膜を露光する工程、及び被覆支持膜の露光前後の光吸収スペクトル変化を計測する工程を含む被測定膜の極端紫外光の吸収係数の測定方法。 （もっと読む）

【課題】紫外線による硬化性が高い着色組成物、および硬化不良に起因する色差が認められないフィルタセグメントを具備するカラーフィルタの提供。
【解決手段】エチレン性不飽和二重結合を有する重合性モノマー、エチレン性不飽和二重結合を有する透明樹脂、色素および有機溶剤を含有する着色組成物であって、前記重合性モノマーの二重結合当量M_DCに対する前記重合性モノマーの溶解度パラメータM_SPの比M_SP／M_DCが０．１０以下であり、かつ前記透明樹脂の二重結合当量P_DCに対する前記透明樹脂の溶解度パラメータP_SPの比P_SP／P_DCが０．０１２以上であり、かつ前記重合性モノマーの重量が、前記透明樹脂の重量の３０〜１５０％である着色組成物、および基板上に、前記着色組成物を用いて形成されたフィルタセグメントを具備するカラーフィルタ。 （もっと読む）

【課題】長時間連続してレジストを塗布しても、塗布されたレジストの厚さに差が生じることを抑制できるレジスト塗布装置を提供する。
【解決手段】レジストを溶媒に溶解したレジスト溶液が保持され、ローラー４ａの一部がレジスト溶液に浸漬される浸漬槽５と、浸漬槽５との間でレジスト溶液が循環するバッファー容器７と、レジスト溶液の濃度を測定する濃度計１１と、濃度計１１の測定結果に基づいて、レジスト溶液の濃度が一定になるように、レジスト溶液に溶媒を添加する溶媒添加部（８，８ａ，９，１２）とを具備する。濃度計１１の代わりに粘度計を用いてもよい。 （もっと読む）