【課題】分子レジスト材料を用いたレジストパターンのパターン不良を防止できるようにする。
【解決手段】まず、基板の上に、酸不安定基を含まないアルカリ可溶性で且つ三量体以上の環状のオリゴマーと、酸不安定基を含む分子化合物と、光酸発生剤とを含み、且つポリマーを含まないレジスト材料からレジスト膜１０２を形成する。続いて、形成されたレジスト膜１０２に極紫外線よりなる露光光を選択的に照射することによりパターン露光を行う工程。続いて、パターン露光が行われたレジスト膜１０２を加熱し、その後、加熱されたレジスト膜１０２に対して現像を行って、レジスト膜１０２からレジストパターン１０２ａを形成する。 （もっと読む）

【課題】平坦性、低誘電性、吸水性、耐溶剤性、透明性及び耐熱透明性に優れるばかりでなく、密着性にも優れる樹脂膜、この樹脂膜を得るための、ろ過性に優れる感放射線樹脂組成物、及びこの樹脂膜を有する電子部品を提供する。
【解決手段】樹脂（Ａ）、感放射線化合物（Ｂ）、及び溶剤（Ｃ）を含有してなり、樹脂（Ａ）が、特定の５−ノルボルネン−２，３−ジカルボキシイミド誘導体を含む単量体組成物を重合して得られる重合体であることを特徴とする感放射線樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】少なくとも光重合性化合物及び光重合開始剤を含有する記録層を備えた光記録媒体のダイナミックレンジの浪費を抑えること
【解決手段】光重合性化合物、光重合開始剤、バインダー及びホストゲスト化合物を含有する記録層、或いは、さらに増感剤を含有する記録層を備え、前記光重合開始剤及び／又は増感剤がゲストとして前記ホストゲスト化合物に内包されている光記録媒体とする。そして、情報を記録しようとする部位に局部的な発熱を起こし、当該部位に存在するホストゲスト化合物に内包されていた光重合開始剤及び／又は増感剤を記録層内に露出させることで、目的とする記録エリアのみ記録可能な状態とする。その結果、ダイナミックレンジの浪費を抑えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ナノメールサイズでかつ粒径分布ピークのシャープな、カラーフィルタとしたときに高いコントラストを実現しうる有機粒子の分散物の製造方法を提供し、しかも、生産効率を大幅に向上させ大量生産に好適に対応しうる有機粒子分散物の製造方法を提供する。
【解決手段】有機材料をそれに対する良溶媒である第１溶媒に溶解した有機材料溶液と、前記第１溶媒と相溶媒を有し前記有機材料に対して貧溶媒となる第２溶媒とを混合し、前記有機材料をナノ粒子として混合液中に析出させ、次いで該混合液の溶媒分を前記第１溶媒および第２溶媒のいずれとも異なる第３溶媒で置換したのち、該第３溶媒を留去中に第１溶媒、第２溶媒、および第３溶媒のいずれとも異なる第４溶媒を添加する有機粒子分散物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、耐溶剤性、表面硬度、絶縁性、平坦性、透明性、耐薬品性及び低誘電性等に優れ、更に、密着性が改良された感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を用いてなる樹脂膜を基板上に形成した積層体、及びこの積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及びポリシロキサンを含有してなる感光性樹脂組成物。ポリシロキサンが、式で表わされるオルガノシラン化合物の縮合物であることが好ましい。
【化１】


（Ａ^１は、プロトン性極性基と反応し得る官能基を有する炭素数１〜２０の炭化水素基。Ｚ^１〜Ｚ^３は、それぞれ、単結合であるか又は酸素原子。Ｒ^１〜Ｒ^３は、それぞれ、ハロゲン原子であるか、互いに結合して環を形成していてもよい炭素数１〜２０の炭化水素基。また、Ｚ^１Ｒ^１〜Ｚ^３Ｒ^３の少なくとも１つは、ハロゲン原子であるか炭素数１〜２０の炭化水素オキシ基である。） （もっと読む）

【課題】光重合開始剤を使用しない又は少量の使用であるにも関わらず、感度及び密着性等に優れ、微細パターンを精度良く形成できるアルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】２個以上の（メタ）アクリロイル基及び水酸基を有する化合物の、（メタ）アクリロイル基に、β−ジケトン部位を有する化合物又はβ−ケトエステル基を有する化合物を付加させて得られる反応生成物の水酸基と、多塩基酸無水物とのエステル化反応により得られる構造を有する光重合性不飽和化合物を含有することを特徴とするアルカリ現像性感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】エッジ形状が良好で段差のない、しかも高光学濃度であるカラーフィルターを提供できるカラーフィルター形成方法及びそれにより得られるカラーフィルターを提供する。
【解決手段】（１）支持体上に少なくとも光熱変換層、レッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）、ブルー（Ｂ）またはブラック（Ｋ）の画像形成層を有する４種のレーザー熱転写シートを受像シートと重ねあわせ熱転写シート側からレーザー光を像様に照射して受像シート上に画像形成層を転写してＲ、Ｇ、Ｂ及びＫからなる画像を形成する方法であって、該４種のレーザー熱転写シートの少なくとも１種を２回以上転写することを特徴とするカラーフィルターの形成方法。 （もっと読む）

【課題】パターニング精度を維持したまま高ＯＤ化させる。
【解決手段】ポジ型あるいはネガ型のフォトレジスト中にクロミズム特性を有する材料を含む感光性樹脂組成物を提供する。この感光性樹脂組成物は、加熱あるいは光照射等によってＯＤ値を変化できる。したがって、パターニング工程後に加熱あるいは光照射等を行って高ＯＤ化させることによって、パターニング精度を高く維持すると共に、高ＯＤ化させたブラックマトリクスを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】明度の高いカラーフィルタを製造できる着色組成物およびその製造方法の提供。
【解決手段】透明樹脂、その前駆体、または透明樹脂およびその前駆体の混合物からなる顔料担体と、400〜575nmにおける吸光値が8.0〜14.0である赤色顔料、600〜700nmにおける吸光値が11.2〜13.0である緑色顔料、550〜650nmにおける吸光値が9.0〜12.0である青色顔料、または400〜500nmにおける吸光値が5.0〜10.0である黄色顔料とを含む着色組成物、および顔料を強アルカリで洗浄し、透明樹脂、その前駆体、または透明樹脂およびその前駆体の混合物からなる顔料担体に分散することを特徴とする着色組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】第１層が形成されてできた凹凸の影響によるリンス不足に起因する現像残渣の発生を防止し、各色パターンが良好な矩形状に構成され、平坦性の高いカラーフィルタを作製する。
【解決手段】（ａ）第１の着色層形成工程と（ｂ）第１の着色層上にフォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程と（ｃ）第１の着色層上の領域のうち第１の着色層とは異なる第２の着色層を形成する領域のみにおけるフォトレジスト層を除去することにより、第１の着色層上に画像を形成する画像形成工程と（ｄ）画像形成工程によって形成された画像様に、第２の着色層を形成する領域における第１の着色層をドライエッチング法により除去するエッチング工程と（ｅ）フォトレジスト層除去工程と（ｆ）着色光硬化性組成物を前記第１の着色層が除去された前記領域に露光、現像により付与して第２の着色層を形成する第２の着色層形成工程と、を設けて構成されている。 （もっと読む）

【課題】感度変動が少なく、過酷な保存状況下でも安定であり、且つ、高感度な重合性組成物、及び、該重合性組成物を記録層として用いた経時安定に優れた平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】分子内に電子供与性基を電子供与性基を少なくとも３つ有するジアリールヨードニウム塩と、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と、下記一般式（Ｉ）で表されるメルカプト化合物と、を含有することを特徴とする重合性組成物。一般式（Ｉ）中、Ｒは置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよいアリール基を表し、ＡはＮ＝Ｃ−Ｎ部分と共に炭素原子を有する５員環又は６員環のヘテロ環を形成する原子団を表し、Ａはさらに置換基を有していてもよい。
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【課題】露光中におけるマスクの発熱を抑制し、ショット毎のレジストパターンサイズのばらつきを抑えることが可能となる近接場露光用マスク及び該マスクを用いたレジストパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】透明マスク母材１０１と、該透明マスク母材上のシリコンを含む遮光層１０３と、該透明マスク母材と該遮光層の間に設けられた反射層１０２を有し、前記反射層１０２と前記遮光層１０３に露光波長λ（ｎｍ）より小さい開口パターンが設けられた近接場露光用マスクであって、 前記透明マスク母材１０１と前記反射層との界面からの反射率が、透明マスク母材上のシリコンを含む遮光層との間に反射層を有さない近接場露光用マスクにおける透明マスク母材と遮光層界面からの反射率よりも高い構成とする。 （もっと読む）

【課題】各成分が均一に分散し品質バラツキがない感光性組成物および光記録媒体を提供する。
【解決手段】感光性組成物を形成する成分を第一の溶媒中に溶解させた溶液を凍結させて、得られた固形物を減圧雰囲気中で乾燥させることを特徴とする粉末状感光性組成物の製造方法、この感光性組成物、およびこの感光性組成物から形成された光記録媒体。 （もっと読む）

【課題】極めて高感度で硬化し、保存安定性も良好な硬化性組成物と、未露光部の現像残渣が少なく、露光部の基板との密着性に優れ、所望の断面形状の着色パターンを備えたカラーフィルタ及び該カラーフィルタの生産性に優れた製造方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）で表される化合物と光重合開始剤とを含有する硬化性組成物である。前記硬化性組成物は、さらに着色剤を含有することことが好ましい。〔一般式（Ｉ）中、Ｒ^１はｎ価の有機基を表す。Ｒ^２は水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表す。Ｒ^３及びＲ^５は各々独立に、水素原子またはメチル基を表す。Ｘは−Ｏ−、−ＮＨ−、−ＮＲ^４−、または−Ｓ−を表し、Ｒ^４は水素原子または一価の有機基を表す。ｎは１〜１２の整数を表す。〕
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【課題】レーザーで画像状に露光した段階で視認性の高い色画像を形成することができ、耐刷性、機上現像型に優れた平版印刷版原版、及び、該平版印刷版原版を用いた平版印刷方法を提供する。
【解決手段】 支持体上に、（Ａ）下記一般式（１）で表されるシアニン色素（Ｒ^９とＲ^１０、及びＲ^１１とＲ^１２は、それぞれ互いに連結して炭化水素環を形成する）、及び（Ｂ）重合開始剤を含有する画像記録層を有することを特徴とする平版印刷版原版。
【化１】
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【課題】顔料を高濃度に含有する場合であっても、高感度で硬化し、硬化領域では基材である硬質表面との密着性に優れ、未硬化領域における現像後の残査が少なく、良好なパターン形成性を有するとともに、顔料分散安定性等の経時安定性に優れる硬化性組成物を提供することにある。また、前記本発明の硬化性組成物組成物を用いて形成された、解像力と支持体との密着性に優れた着色パターンを備えるカラーフィルタ、及び、該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することにある。
【解決手段】（Ａ）ポリアルキレンオキシ鎖を有する化合物と、（Ｂ）光重合開始剤と、（Ｃ）エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物と、（Ｄ）顔料と、（Ｅ）樹脂と、を含有する硬化性組成物であって、（Ｄ）顔料の平均一次粒子径が５ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、（Ｄ）顔料の濃度が３０質量％以上８５質量％以下であることを特徴とする硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】メッキ法のような環境負荷の大きな手段を用いることなく、簡便に作製しうる電磁波シールドフィルムの製造方法、及び、前記製造方法により作製された電磁波シールドフィルムを提供する。
【解決手段】透明支持体上に、金属微粒子を含有する幾何学パターンを形成し、形成された幾何学パターンを熱処理して、該幾何学パターンの表面抵抗率を１０^６Ω／□以下にする。 （もっと読む）

【課題】ＩＣ等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程などに使用されるポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供することであり、通常露光（ドライ露光）のみならず液浸露光においてプロファイルやラインエッジラフネスの劣化が少なく、また、液浸露光時に於ける液浸液に対する追随性が良好であるポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供することである。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）特定構造を有する樹脂および（Ｄ）溶剤を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】高感度で、良好なパターン形成性を有し、現像性及びガラス支持体との密着性に優れた着色パターンを形成することができ、カラーフィルタの作製に有用な、光硬化性着色組成物及びそれを用いて得られたカラーフィルタを提供する。
【解決手段】スチリル−オキサジアゾール系、ビニル−ハロメチル−ｓ−トリアジン系、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−ハロメチル−ｓ−トリアジン系及び４−（ｐ−アミノフェニル）−２，６−ジ−ハロメチル−ｓ−トリアジン系の特定の化合物又は２，４，５−トリフェニルイミダゾリル二重体から選択されるヘテロ環含有光重合開始剤、側鎖にポリ（メタ）アクリレート鎖を有するアルカリ可溶性のグラフト高分子化合物で分散された着色顔料、及び、重合性不化合物を含有する光硬化性着色組成物及びそれを用いて得られたカラーフィルタ。 （もっと読む）

【目的】例えばレジストとして利用することができる、有機低分子の集合体を実現する。
【構成】分子集合体は、フルオレン系低分子化合物と、フルオレン系低分子化合物と組織化可能な有機低分子化合物とを溶媒に溶解した溶液を調製する工程と、当該溶液を撹拌する工程と、溶液の撹拌により生成した固形物を溶液から分離する工程とを含む方法により得られる。ここで用いられるフルオレン系低分子化合物および有機低分子化合物は、例えば、カルボキシル基、カルボニル基、水酸基、アミノ基および芳香族環からなる群から選ばれた少なくとも一つの構造を含む原子団を有している。 （もっと読む）