本明細書内において、小型の作動可能なプラットフォームシステムに関するシステム、方法、及び装置が提示される。一実施形態によれば、該システム、方法、及び装置は、小型ミラーを含む制御可能に作動させられる小型プラットフォームアセンブリに関する。
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【課題】 デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）の位置或いは傾きを調整するにあたり、液圧を利用することにより、ＤＭＤの微細な調整、調整位置の持続性、並びに調整機構の小型化を可能にすることを課題とする。
【解決手段】 露光すべき所定のパターンデータを電気信号としてＤＭＤに入力し、その複数のマイクロミラーをパターンデータに応じて傾動させ、ＤＭＤに光を投影させて前記マイクロミラーによる反射光を露光対象に投影して、前記パターンデータに対応した形状に露光させる露光装置において、液圧を用いて前記ＤＭＤの位置調整を行うようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】改良された方法で装置内に配置され、固定される光学素子を有するリソグラフィ装置を提供すること。
【解決手段】パターン化デバイスから基板上にパターンを転写するように構成されたリソグラフィ装置である。この装置は光学素子と、光学素子を固定するための少なくとも２つのクランプ・アセンブリとを含んでいる。クランプ・アセンブリは各々、光学素子の第１表面と接触する第１クランプ面を有する第１クランプ及び前記光学素子の前記第１表面とは反対側の、前記光学素子の第２表面と接触する第２クランプ面を有する第２クランプを含んでいる。 （もっと読む）

レーザー干渉計ミラー・アセンブリである。このレーザー干渉計ミラー・アセンブリ(1)は、ガラス・ベース(2)と、第1および第2の直角のガラス・ミラー・ブロック(3、4)と、を備えている。それぞれのミラー・ブロックは、ガラス・ベースの上面(5)において、1組の足(6、7、8、9)を使用して、支持されている。 （もっと読む）

【課題】光学部品、ひいては、この光学部品が用いられる光学システムが熱の影響を受け、熱により劣化するのを防止、または少なくとも低減させる。
【解決手段】光が照射されたときに昇温する光学的に有効な少なくとも一つの光学素子と、少なくとも一つの光学素子をキャリア構造内に保持するための少なくとも一つのホルダ要素とを含み、少なくとも一つの光学素子は熱伝導する態様で少なくとも一つのホルダ要素に接続され、また少なくとも一つのホルダ要素には少なくとも一つの光学素子からの熱を放出するための能動冷却装置が少なくとも部分的に設けられた光学部品を提案する。 （もっと読む）

ハウジング構造体は、装着部（６）若しくは構造モジュール（６’）に保持された複数の光学素子（５）が、複数の接続部材（７）によって配置されたフレーム構造体（１）を有している。光学素子（５）は、取付け状態で、取着部若しくは構造モジュールと接続部材とが、支持ユニットしてフレーム構造体に一体的であるように、取着部（６）若しくは構造モジュール（６’）と接続部材（７）とによってフレーム構造体（１）に着脱可能に接続されている。
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