【課題】走査ビーム装置の較正
【解決手段】光源と、前記光源から光を受け取り、走査パターン内の、感光性位置センサでない較正パターン上でビームを走査するための走査光学素子と、前記較正パターンから後方散乱される光を前記走査パターン中の異なる時点において検出するための光検出器と、前記異なる時点の各々において検出された前記後方散乱光を、対応するそれぞれの時点に関する前記ビームの予想される位置で表すことにより、前記較正パターンの画像を生成するための画像生成論理回路と、前記較正パターンの前記生成画像を前記較正パターンの表示と比較するための比較論理回路と、を含むことを特徴とする装置。 （もっと読む）