【課題】振動などにより光学部品に偏心が生じ、追跡する光線が予想される光路軌跡をはずれても、精度良く、誤動作することなく正確に光線の停止位置を把握することができる光線追跡方法を提供する。
【解決手段】光学要素の全てを内包する光線停止要素を自動生成し、追跡する光線の位置座標と方向ベクトルを用いて、光線と光学要素または光線停止要素の遮光面の光学面との交点座標を計算し、光線と交点座標までの距離が最短である光学要素を選択し、選択された光学要素について、反射または屈折の法則を用いて、透過光線または反射光線の位置と出射光線ベクトルを順次求めていき、光線と交点座標までの距離が最短である要素が光線停止要素となった場合に、光線追跡を停止させる。 （もっと読む）

【課題】プラスチック光学素子の加工工法を変更することなく（加工方法の変更によるコストアップを来たすことなく）、プラスチック光学素子の光学性能を向上させることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】プラスチック光学素子としてのｆθレンズ６は、転写面以外の一部に所定方法で形成した非転写面としての凹部１５を有している。図６（ａ）において、符号２６はｆθレンズ６の入射面（転写面）を、２７は出射面（転写面）を、２８は外形中心を、２９は短手光軸中心をそれぞれ示している。ｆθレンズ６において、短手光軸中心２９をｆθレンズ６の外形中心２８から非転写面１５の方向にシフトしている。 （もっと読む）

【課題】走査される光ビームのビームスポット位置を精度よく測定する。
【解決手段】光学特性測定装置７０の受光装置７１を、光走査装置１００から射出された光ビームＬＢ１,ＬＢ２,ＬＢ３,ＬＢ４がそれぞれ入射する受光位置に、Ｘステージ及びＹステージを駆動することにより順次位置決めする際に、受光装置７１のステージ座標系における位置座標を、誤差量δ（Ｘ）、δ（Ｙ）及び角度誤差Δθに基づいて補正する。これにより、精度よくステージ座標系における光ビームＬＢ１〜ＬＢ４のビームスポット位置をそれぞれ計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高い集光位置精度を有する高速加工可能なレーザ加工用光学装置を提供する。
【解決手段】ガルバノミラー４により偏向されたレーザ光を集光するｆθレンズ６とプリント基板７との間の光路上に、当該ｆθレンズ６により集光されるレーザ光を複数のレーザ光に分岐する回折型光学素子８を導入する。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、記録媒体に対して所望の印字情報を迅速且つ高精度に記録することのできるレーザ印字装置を提供する。
【解決手段】印字データメモリ５０から供給される印字データに従ってゲート信号をオンオフ制御するとともに、パルス幅データメモリ５２から供給されるパルス幅データに従って前記ゲート信号のパルス幅を制御し、このゲート信号を用いてＡＯＤドライバ４０に供給される周波数変調用電圧信号を制御してＡＯＤ３４を駆動することにより、照射位置に依存することのない一定のエネルギからなるレーザビームＬをウエブ１４に照射して製品情報を記録する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ピンホール基板の内外周のムラがなく低製造コストな共焦点光学装置を提供する。
【解決手段】 本発明の共焦点光学装置は、複数のピンホールが形成されたピンホール基板を回転させ、このピンホール基板を通過した照射光を試料に対して走査する。ピンホール基板は、所定の内角で分割された扇形を単位領域として、その単位領域内の一方の半径上の点を始点として他方の半径上の点を終点とし、始点から終点へと進むにつれて半径方向位置が中心から遠ざかり、かつ始点の半径方向位置がそれぞれ異なる複数のスパイラル上のそれぞれに等角度配置されたピンホールを有している。この単位領域内における複数のスパイラル上に配置されるピンホールの数は、スパイラルの長さが長いほど多いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検出部が非円筒状でも測定でき、毎分数万回転の高速回転まで測定可能なポリゴンミラーのミラー偏心、面出入り測定装置を提供する。
【解決手段】第１光源４と、被測定ミラーで前記第１光源４からの光を反射させた第１反射光を検出する第１光検出素子７および第１スリット６と、前記光検出素子７にスポット形成させる第１光学系５と、第２光源８と、ミラーで前記第２光源８からの光を反射させた第２反射光と前記第２光源８からの光がミラー面と垂直をなすミラー正対時に第２反射光を検出する第２光検出素子１１、第２光学系９および第２スリット１０と、ミラー各面ごとに第１光検出素子７と第２光検出素子１１の出力信号の時間間隔を測定する時間計測手段と、時間間隔値に基づいてミラー偏心を算出する偏心算出手段および面出入りを算出する面出入り算出手段とを備えたことを特徴とするミラー偏心および面出入りを測定する装置。 （もっと読む）

【課題】 入射角度が大きい場合でも集光効率に優れ、かつ、量産に適した集光レンズを提供すること。
【解決手段】 集光レンズ１は、ビーム走査装置から出射された走査ビームが被照射物で反射した光を光検出器９に集光させるための樹脂製のレンズであって、光入射面２および光出射面３のうち、光入射面２の側には、同心円状の溝２１、２２、２３によってフレネルレンズ状の分割レンズ面１１、１２、１３、１４が複数、形成されている。４つの分割レンズ面１１、１２、１３、１４のうち、３つの分割レンズ面１２、１３、１４は、同心円状の複数の段差３０が形成された回折レンズ面になっている。 （もっと読む）

【課題】 ポリゴンミラーを用いた面倒れ補正方式の光走査光学系の共役位置を簡単な構成で連続的に測定する方法と装置。
【解決手段】 被走査面と想定されている面の前後の一定の距離Ｈだけ離れた位置それぞれの主走査方向に沿って、開口幅が副走査方向へ連続的に変化している三角スリット２１を、主走査方向へ走査光ビームＢ２の移動速度に比較して遅い速度で移動させながら、三角スリット２１を通過する光量を光電変換してパルス信号を発生させ、そのパルス信号から三角スリット２１の主走査方向位置に応じてポリゴンミラー４の各回転でのパルス幅変動幅データδｔ１、δｔ２を取得し、パルス幅変動幅データδｔ１、δｔ２と、Ｓ＝Ｈ×（δｔ１−δｔ２）／（δｔ１＋δｔ２）の関係から、光走査光学系１０の共役点の被走査面に対する位置Ｓを主走査方向に関して連続的に求める測定方法と装置。 （もっと読む）

【課題】 ポリゴンミラーの防塵効果を高めるとともに、部品点数や組み立て工数を削減し、且つビーム光の光量低下を抑制して低出力ＬＤを使用可能とした偏向装置及びそれを備えた光学走査装置を提供する。
【解決手段】 照射ビームＬ１は光入出射窓４６より偏向装置４０内に入射し、ポリゴンミラー３４により偏向された後、再び光入出射窓４６より走査ビームＬ２として出射される。光入出射窓４６は一枚の透明平板４３で密封されており、透明平板４３は照射ビームＬ１と走査終了側端部（図の右側）の走査ビームＬ２とのなす角度の２等分線Ｄに対して垂直に配置されている。これにより、透明平板４３表面への照射ビームＬ１及び走査ビームＬ２の入射角を均等にして光量バランスを最適なものとし、露光光量の低下を抑制する。 （もっと読む）