Fターム[2H052BA00]の内容
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有効光源形状のデータベースの生成方法、光学像の算出方法、プログラム、露光方法及びデバイス製造方法
【課題】リソグラフィーシミュレータにおける計算精度を向上させる。
【解決手段】照明光学系に設定可能な複数の条件を変更しながら有効光源形状を算出し、前記有効光源形状を表す初期データベースを生成するステップS1002と、前記複数の条件のうち任意の条件を前記照明光学系に設定して有効光源形状を計測するステップS1004と、前記計測ステップで計測された有効光源形状と前記生成ステップで生成された初期データベースに含まれる前記任意の条件に対応する有効光源形状とに基づいて、前記複数の条件のそれぞれを前記照明光学系に設定した場合の有効光源形状と前記データベースに含まれる有効光源形状との残差量を算出するステップS1006と、前記算出ステップで算出された残差量を用いて前記初期データベースに含まれる有効光源形状を補正して実データベースとするステップS1010と、を有することを特徴とする生成方法を提供する。
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