Fターム[2H081AA00]の内容
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Fターム[2H081AA00]に分類される特許
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静電駆動装置
【課題】 静電駆動装置において、移動子の位置を検出する。
【解決手段】 静電駆動装置100は、スリット群123と複数の駆動電極122とが設けられた固定子120と、固定子120側の面には駆動電極122に対向する位置にエレクトレット化部位が設けられ、スリット群123と対向しながら移動するスリット132を有し、固定子120に対し移動可能に設けられた移動子130と、光をスリット群123とスリットと132を通過させるための発光を行う発光素子160と、発光素子160から発光されてスリット群123及びスリット132を通過してきた光を受光するリニア光学センサ140を有する。
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