【課題】回折光の存在によって、露光領域の端面が垂直になるように露光対象物を露光することができないという課題がある。
【解決手段】液晶材料１５を露光できる光量を有する傾斜角度θの回折光を、集光レンズ８０によって開口部８ａに入射する露光光と同じ垂直方向の光に変換する。もとより、傾斜角度がθ以下の回折光は、液晶材料１５に対する照射方向が集光レンズ８０の中心方向に向くことになる。この結果、液晶材料１５は、図示するように垂直方向に変換された回折光が照射されることによって、露光領域の端面は斜めにならず、垂直方向となるように露光される。 （もっと読む）