【課題】 ガラスフォトマスクの製造コストを低減できると共に、不良品のガラス基板を有効利用することができるガラスフォトマスク露光方法を提供する。
【解決手段】 同一パターンを有する複数のガラスフォトマスク１０、２０を各々用いて複数回露光を行うようにしているので、ガラスフォトマスク１０、２０に光を遮光する欠陥部分１００、２００が存在していても、複数露光で解消できることとなり、製造コストを極力低減し且つ不良品となるガラス基板を有効利用できると共に、露光エラーの発生を防止できる。 （もっと読む）