【課題】 経時での感度変動が小さく、現像液展開性に優れたポジ型レジスト組
成物の製造方法を提供する。
【解決手段】 単環又は多環の脂環式炭化水素構造を有し、酸の作用によりアル
カリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有するポジ型レジスト組成物の製
造方法に於いて、単環又は多環の脂環式炭化水素構造を有し、酸の作用によりア
ルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂をイオン交換フィルターにより濾過
する濾過工程を含み、好ましくは、更に、単環又は多環の脂環式炭化水素構造を
有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を不溶コロ
イド除去フィルターで濾過する濾過工程を含むポジ型レジスト組成物の製造方法
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