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Fターム[2H096GA00]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 現像 (4,506)

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Fターム[2H096GA00]に分類される特許

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本発明は、微小電気コンポーネント、微小機械コンポーネント、微小電気機械(MEMS)コンポーネント、又は微小流体コンポーネントを基板上にパッケージするための方法であって、容易に除去可能な第二基板上の架橋フォトレジストから作られた空洞を形成し、選択されたマイクロデバイスを含む第三基板に前記空洞を結合し、次に前記除去可能な第二基板を剥がすことによりパッケージする方法に関する。
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【課題】印刷または転写に使用する版が、種々の理由で摩耗したり、キズがついたりした場合、再生が容易な版を提供する。
【解決手段】印刷用インクの印刷または転写用インクの転写に使用する版1であって、少なくとも裏面露光光透過性の支持基板2の上に、印刷または転写すべきパターンのポジパターンまたはネガパターンにして裏面露光光遮光性の遮光性膜3を設け、遮光性膜3を覆うようにして前記支持基板2の上に裏面露光光透過性層4を積層し、裏面露光光透過性層4の上に位置する版面5に、遮光性膜3をフォトマスクとして裏面露光法・現像法によって形成してなる版パターン部10を設けた。 (もっと読む)


【課題】基板にレジストを塗布し、露光後の基板を現像する塗布、現像装置において、露光処理の際の基板温度の安定化を図り、露光処理の歩留まりを向上させる。
【解決手段】レジストの塗布、現像を行う処理部S1の棚ユニットU1〜U3内に、レジスト塗布後の基板を加熱する加熱部と加熱された基板を冷却する冷却部とを設ける。そして処理部と露光装置との間に介在するインターフェイス部S3の棚ユニットU4に、露光前の基板を載置して当該基板の温度を露光処理に適した温度に調整するための温調プレートを備えた温度調整部を設け、前記冷却部で冷却した基板をこの温調プレートにより高精度に温度調整する。 (もっと読む)


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