【課題】 基板に対するパターン形成を迅速且つ正確に行うことができるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 基板ｗに対してパターン形成を行うパターン形成装置１であって、支持板２と、支持板２を回動する駆動手段８と、支持板２の回動により検出位置Ｄに搬送された基板ｗの位置を検出する基板位置検出手段２０と、支持板２の回動により加工位置Ｐに搬送された基板ｗに対してパターン形成を行う加工手段３０とを備え、支持板２の各装着部４，４は、基板位置検出手段２０の検出に基づいて基板ｗの位置を修正する位置修正手段５を備えており、駆動手段８は、支持板２を正逆両方向に１８０°回動して各装着部４，４が検出位置Ｄと加工位置Ｐとの間で移動するように制御される。 （もっと読む）

【課題】載置ずれや変形を生じさせることなく、基板保持部に基板を受け渡すこと。
【解決手段】基板Ｐを保持する基板保持部としてのプレートホルダ９に基板Ｐを搬送する搬送装置は、基板Ｐを支持する支持装置としての搬送ハンド１２と、搬送ハンド１２を駆動し、プレートホルダ９からの搬送ハンド１２の一部の高さと他部の高さとを相対的に変化させ、かつその一部の高さ及び他部の高さを減少させて、搬送ハンド１２が支持する基板Ｐをプレートホルダ９に受け渡す駆動装置１３，１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、基板の変形や損傷を防止して位置決め可能な基板位置決め機構及び基板位置決め方法と、この基板位置決め機構を備えた基板搬送装置、及びこの基板搬送装置を備えた画像記録装置を得る。
【解決手段】 搬送支持ローラ１６よりも搬送方向下流側に配置された先端位置決めユニット５０は、複数のセンサホルダー５２と、センサホルダー５２を一体的に保持する保持ブロック５４と、を有している。センサホルダー５２は取り付けられた位置決め用センサ６２で基板材料２００を検出すると、先端位置決めモーター６０によってボールねじ５９が回転され、先端位置決めユニット５０が搬送方向下流側へ移動されるので、接触時の接触圧が緩和され、基板材料２００の変形や損傷が防止される。 （もっと読む）