説明

Fターム[2H097FA00]の内容

フォトレジスト感材への露光・位置合せ (19,491) | 露光される感材の種類、構造、形状 (500)

Fターム[2H097FA00]の下位に属するFターム

Fターム[2H097FA00]に分類される特許

1 - 1 / 1


【課題】 前記パターン形成材料上に結像させる像の歪みを抑制することにより、フォトポリマー系感材を用いて形成させるパターンを高精細に、かつ、効率よく形成可能なパターン形成方法の提供。
【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂と、光酸発生剤と、及び架橋剤と、を含む感光層に対し、光照射手段からの光を受光し出射する描素部をn個有する光変調手段により、前記光照射手段からの光を変調させた後、前記描素部における出射面の歪みによる収差を補正可能な非球面を有するマイクロレンズを配列したマイクロレンズアレイを通して露光を行うことを含むことを特徴とするパターン形成方法である。該非球面は、トーリック面であることが好ましい。 (もっと読む)


1 - 1 / 1